Growth of GaN films by alternate source gas supply hot-mesh CVD method

Growth of GaN films by alternate source gas supply hot-mesh CVD method
复制标题

交替源气体供应热网CVD法生长GaN薄膜

DOI:
--
复制
发表时间:
2009
期刊:
Thin Solid Films 517
影响因子:
--
通讯作者:
K. Yasui.
K. Yasui.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y. Komae;T. Saitou;M. Suemitsu;T. Ito;T. Endoh;H. Nakazawa;Y. Narita;M. Takata;T. Akahane;K. Yasui.

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

用于在 (100) GaAs 上生长 GaN 薄膜的热网 CVD
DOI: 10.1016/j.tsf.2004.06.067
发表时间: 2004
期刊: Thin Solid Films
影响因子: 2.1
作者:
K. Yasui;Mitsuyoshi Ishibashi;Yoshiaki Taima;T. Akahane
通讯作者: T. Akahane
具有 γ-Al2O3(111) 外延中间层的 Si(111) 上 GaN 有机金属气相外延
DOI: 10.1016/s0022-0248(01)02090-5
发表时间: 2002
影响因子: 1.8
作者:
A. Wakahara;H. Oishi;H. Okada;A. Yoshida;Y. Koji;M. Ishida
通讯作者: M. Ishida
DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2004.03.003
发表时间: 2004-06-01
影响因子: 1.8
作者:
Kwon, MS;Cho, SI
通讯作者: Cho, SI
通过选择性 MOVPE 在 (1 1 1)Si 衬底上生长无裂纹的 GaN 晶体
DOI: 10.1016/s0022-0248(02)01352-0
发表时间: 2002
影响因子: 1.8
作者:
Y. Honda;Y. Kuroiwa;M. Yamaguchi;N. Sawaki
通讯作者: N. Sawaki
通过金属有机气相外延控制 Si 表面原子构型在 Si(111) 衬底上直接生长 GaN
DOI: 10.1143/jjap.45.l478
发表时间: 2006
影响因子: 1.5
作者:
K. Takemoto;H. Murakami;T. Iwamoto;Yuriko Matsuo;Y. Kangawa;Y. Kumagai;A. Koukitu
通讯作者: A. Koukitu