Fabrication and characterization of a self-aligned gate stack for electronics applications
Fabrication and characterization of a self-aligned gate stack for electronics applications
复制标题
用于电子应用的自对准栅极堆叠的制造和表征
DOI：
10.1063/5.0062163
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发表时间：
2021
影响因子：
4
通讯作者：
Vogel, Eric M.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Brummer, Amy C.;Mohabir, Amar T.;Aziz, Daniel;Filler, Michael A.;Vogel, Eric M.
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影响因子：
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