High-sweep-rate 1310 nm MEMS-VCSEL with 150 nm continuous tuning range.
High-sweep-rate 1310 nm MEMS-VCSEL with 150 nm continuous tuning range.
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DOI：
10.1049/el.2012.1552
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发表时间：
2012-07-05
影响因子：
1.1
通讯作者：
Cable A
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Jayaraman V;Cole GD;Robertson M;Uddin A;Cable A
展示了基于微机电系统的垂直腔表面发射激光器 (MEMS-VCSEL)，能够在 1310 nm 附近实现 150 nm 连续调谐范围。这些器件采用具有大自由光谱范围的薄光泵浦有源区结构，可促进宽范围和连续的调谐。为了实现 1310 nm 的 VCSEL 发射，通过晶圆键合将宽增益带宽磷化铟基多量子阱有源区与宽带宽全氧化 GaAs 基反射镜结合在一起，并通过悬浮电介质顶部反射镜实现调谐。这些设备能够以高达 500 kHz 的频率在整个调谐范围内进行扫描，使其成为扫频源光学相干断层扫描和高速瞬态光谱等应用的理想选择。
Microelectromechanical-systems-based vertical-cavity surface-emitting lasers (MEMS-VCSELs) capable of a 150 nm continuous tuning range near 1310 nm are demonstrated. These devices employ a thin optically pumped active region structure with large free-spectral range, which promotes wide and continuous tuning. To achieve VCSEL emission at 1310 nm, a wide-gain-bandwidth indium phosphide-based multiple quantum well active region is combined with a wide-bandwidth fully oxidised GaAs-based mirror through wafer bonding, with tuning enabled by a suspended dielectric top mirror. These devices are capable of being scanned over the entire tuning range at frequencies up to 500 kHz, making them ideal for applications such as swept source optical coherence tomography and high-speed transient spectroscopy.
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