Determination of structural deviations in wire grid polarizers for DUV application wavelengths by transmission spectroscopy in the visible spectral range
Determination of structural deviations in wire grid polarizers for DUV application wavelengths by transmission spectroscopy in the visible spectral range
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通过可见光谱范围内的透射光谱测定 DUV 应用波长的线栅偏振器的结构偏差
DOI：
10.1117/12.2306026
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S. Kroker
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Siefke;W. Dickmann;T. Weichelt;M. Steinert;J. Dickmann;C. B. Rojas Hurtado;B. Bodermann;S. Kroker
线栅偏振片的光学性能主要取决于其制作精度。将应用波长减少到紫外光谱范围会带来挑战，即通常在几纳米范围内的结构偏差与结构的特征尺寸相当。在这篇文章中，我们提出了一个概念，以确定结构参数和结构偏差的自对准双图案制造的DUV线栅偏振片。为此，我们评估了波长大于380 nm的透射光谱中不对称诱导共振的性质（即光谱位置，光谱位置和宽度的角依赖性）。我们推导了纳米尺度结构性质测定的测量设置要求。我们的研究结果表明，仅对两种不同波长和一种偏振状态下的角度相关透射率进行研究就足以确定结构偏差，其脊的有效位移不确定度为±1:7nm，有效倾斜不确定度为±0:34°。因此，所提出的方法使我们能够在纳米尺度上检索深亚波长结构信息，并在可见光谱范围内容易获得透射率测量。
The optical performance of wire grid polarizers crucially depends on the fabrication accuracy. Reducing the application wavelengths to the ultraviolet spectral range sets the challenge that structural deviations in the range of typically a few nanometers become comparable to the feature sizes of the structure. In this contribution we present a concept to determine structural parameters and structural deviations of DUV wire grid polarizers fabricated with self-aligned double patterning. To this end, we evaluate the properties (i.e the spectral positions, the angular dependence of the spectral positions and widths) of asymmetry induced resonances in the transmittance spectra which occur at wavelengths larger than 380 nm. We derive requirements for measurement setup for nanoscale determination of the structural properties. Our results indicate that the investigation of the angular dependent transmittance at only two different wavelengths and one polarization state is sufficient to determine structural deviations with uncertainties of ±1:7nm for the effective shift of the ridge and ±0:34° for the effective tilt. Thus, the proposed method allows us to retrieve deep subwavelength structural information at the nanoscale with easily accessible transmittance measurements in the visible spectral range.
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