Fabrication of pMUT Based on Large Figure-of-Merit Epitaxial PMnN-PZT/Si Transducer
Fabrication of pMUT Based on Large Figure-of-Merit Epitaxial PMnN-PZT/Si Transducer
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基于大品质因数外延 PMnN-PZT/Si 传感器的 pMUT 制造
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Shuji Tanaka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Zhen Zhou;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
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影响因子：
3.7
作者：
I. Kanno;Y. Yokoyama;H. Kotera;K. Wasa
通讯作者：
I. Kanno;Y. Yokoyama;H. Kotera;K. Wasa
PZT 科里奥利振动陀螺仪 (CVG) 的设计与性能
DOI：
10.1109/isaf.2006.4387870
发表时间：
2006
期刊：
2006 15th ieee international symposium on the applications of ferroelectrics
影响因子：
--
作者：
A. Parent;Oliver Le Traon;S. Masson;B. Le Foulgoc
通讯作者：
B. Le Foulgoc
用于能量收集MEMS的三元钙钛矿薄膜
DOI：
10.1109/isaf.2010.5712269
发表时间：
2010
期刊：
2010 IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectrics (ISAF)
影响因子：
--
作者：
K. Wasa;I. Kanno;H. Kotera
通讯作者：
H. Kotera
DOI：
10.1111/j.1744-7402.2011.00699.x
发表时间：
2012-07
影响因子：
2.1
作者：
T. Noda;Kazuki Komaki;N. Sakamoto;N. Wakiya;Hisao Suzuki
通讯作者：
T. Noda;Kazuki Komaki;N. Sakamoto;N. Wakiya;Hisao Suzuki
溅射Pb(Mn,Nb)O3-PZT薄膜的结构和铁电性能
DOI：
10.1109/ultsym.2010.5935495
发表时间：
2010
期刊：
2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
影响因子：
--
作者：
K. Wasa;K. Kawano;H. Adachi;T. Matsushima;K. Nishida;T. Yamamoto;I. Kanno;H. Kotera
通讯作者：
H. Kotera