Investigation of evolution hydrocarbon species on a Si surface during methane plasma with and without substrate bias, using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry
Investigation of evolution hydrocarbon species on a Si surface during methane plasma with and without substrate bias, using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry
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使用多重内反射几何结构中的红外光谱研究有或没有基底偏置的甲烷等离子体期间硅表面上碳氢化合物的演化
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masanori Shinohara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara
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甲烷射频辉光放电中的自由基和薄膜生长动力学
DOI：
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发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
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作者：
D. Dagel;C. Mallouris;J. Doyle
通讯作者：
J. Doyle
射频等离子体中中性自由基的外观质谱分析
DOI：
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发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
--
作者：
H. Sugai;H. Toyoda
通讯作者：
H. Toyoda
氩稀释对电子回旋共振等离子体中金刚石沉积的影响：双探针研究
DOI：
10.1016/s0040-6090(03)00669-2
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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作者：
K. Teii;H. Yoshioka;S. Ono;S. Teii
通讯作者：
S. Teii
用于 a-C:H CVD 的甲烷等离子体中 CH 自由基的产生和传输的光谱测量
DOI：
10.1143/jjap.29.2156
发表时间：
1990
期刊：
影响因子：
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作者：
K. Tachibana;Takuya Mukai;A. Yuuki;Y. Matsui;H. Harima
通讯作者：
H. Harima
等离子体-表面相互作用的基本过程：氢原子和离子诱导的甲基在烃膜表面的化学吸附
影响因子：
6.4
作者：
A. Keudell;W. Jacob
通讯作者：
W. Jacob