Reaction mechanism of fluorinated chemichally amplified resists
Reaction mechanism of fluorinated chemichally amplified resists
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氟化化学放大抗蚀剂的反应机理
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hiroji Komano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Yamamoto;Takahiro Kozawa;Kazumasa Okamoto;Akinori Saeki;Seiichi Tagawa;Tomoyuki Ando;Mitsuru Sato;Hiroji Komano
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DOI：
--
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期刊：
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--
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