Scanning probes in nanostructure fabrication
Scanning probes in nanostructure fabrication
复制标题
纳米结构制造中的扫描探针
DOI：
10.1116/1.4897500
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. Holz
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
I.W. Rangelow;M. Kästner;Tzv. Ivanov;M. Hofer;A. Ahmad;E. Guliyev;T. Angelov;A. Reum;S. Lenk;A. Schuh;Y. Krivoshapkina;M. Budden;J.-P. Zöllner;N. Nikolov;M. Holz
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具有重叠对准的杯芳烃上的多步扫描探针光刻 (SPL)
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
Advanced Lithography
影响因子：
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作者：
M. Kaestner;I. Rangelow
通讯作者：
I. Rangelow
用于微机械传感器应用的等离子蚀刻
DOI：
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发表时间：
1994
期刊：
影响因子：
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作者：
I. Rangelow;S. Skocki;P. Dumania
通讯作者：
P. Dumania
扫描近端探头以进行并行成像和光刻
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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作者：
K. Ivanova;Y. Sarov;T. Ivanov;A. Frank;Jens;Christian Bitterlich;U. Wenzel;B. Volland;S. Klett;I. Rangelow;P. Zawierucha;M. Zielony;T. Gotszalk;D. Dontzov;W. Schott;N. Nikolov;M. Zier;B. Schmidt;W. Engl;T. Sulzbach;I. Kostic
通讯作者：
I. Kostic
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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作者：
J. Malo;J. Izpura
通讯作者：
J. Izpura
具有集成尖端的压阻传感 AFM 悬臂梁探针的制造
DOI：
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发表时间：
1996
期刊：
Photonics West - Micro and Nano Fabricated Electromechanical and Optical Components
影响因子：
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作者：
I. Rangelow;F. Shi;P. Hudek;T. Gotszalk;P. Grabiec;P. Dumania
通讯作者：
P. Dumania