High-fluence Ga-implanted silicon—The effect of annealing and cover layers
High-fluence Ga-implanted silicon—The effect of annealing and cover layers
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高通量Ga注入硅退火和覆盖层的影响
DOI:
10.1063/1.4887450
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发表时间:
2014
影响因子:
3.2
通讯作者:
Skorupa
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Fiedler;Hübner;Voelskow;Germer;Schmidt;Skorupa
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DOI:
--
发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
--
作者:
L. Rebohle;J. Lehmann;S. Prucnal;A. Nazarov;I. Tyagulskii;S. I. Tyagulskii;A. Kanjilal;M. Voelskow;D. Grambole;W. Skorupa;M. Helm
通讯作者:
M. Helm
DOI:
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发表时间:
1989
期刊:
影响因子:
--
作者:
S. Withrow;O. W. Holland;S. Pennycook
通讯作者:
S. Pennycook
DOI:
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发表时间:
2002
期刊:
影响因子:
--
作者:
A. Fiory
通讯作者:
A. Fiory
DOI:
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发表时间:
1985
期刊:
影响因子:
--
作者:
K. Yokota;Susumu Tamura;S. Ishihara;I. Kimura
通讯作者:
I. Kimura
DOI:
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发表时间:
1970
期刊:
影响因子:
--
作者:
J. Gyulai;J. Mayer;I. V. Mitchell;V. Rodríguez
通讯作者:
V. Rodríguez