High-fluence Ga-implanted silicon—The effect of annealing and cover layers

High-fluence Ga-implanted silicon—The effect of annealing and cover layers
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高通量Ga注入硅退火和覆盖层的影响

DOI:
10.1063/1.4887450
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发表时间:
2014
影响因子:
3.2
通讯作者:
Skorupa
Skorupa
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
Fiedler;Hübner;Voelskow;Germer;Schmidt;Skorupa

文献摘要

参考文献

被引文献

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