Radiation Chemistry of Fluorinated Polymers for Extreme Ultraviolet Resist
Radiation Chemistry of Fluorinated Polymers for Extreme Ultraviolet Resist
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用于极紫外光抗蚀剂的氟化聚合物的辐射化学
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Kikuo Umegaki,
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoya Nomura;Kazumasa Okamoto;Hiroki Yamamoto;Takahiro Kozawa;Ryoko Fujiyoshi;Kikuo Umegaki,
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