Evaluation of Delamination Characteristics of TIN and SiC Sputtered Thin Films by Cyclic Indentation under Load Control
Evaluation of Delamination Characteristics of TIN and SiC Sputtered Thin Films by Cyclic Indentation under Load Control
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负载控制下循环压痕评价 TIN 和 SiC 溅射薄膜的分层特性
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
ZHANG
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masahiko;KATO;Keijiro;NAKASA;Ming;LI;Bo;ZHANG
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分层强度对溅射和气体氮化TiN薄膜耐磨性的影响。
DOI：
10.1299/kikaia.67.1009
发表时间：
2001
期刊：
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. A
影响因子：
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作者：
Masahiko Kato;K. Nakasa;Xu Yan;Ichishige Unoki
通讯作者：
Ichishige Unoki
螺旋溅射非晶SiC薄膜摩擦磨损性能与分层行为的关系
DOI：
10.1299/kikaia.69.1731
发表时间：
2003
期刊：
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. A
影响因子：
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作者：
Masahiko Kato;K. Nakasa;Xu Yan;Kazuhiro Tanaka
通讯作者：
Kazuhiro Tanaka
溅射非晶硅薄膜耐磨性评价及微边压痕法测量薄膜分层强度
DOI：
10.1007/978-1-4020-6239-1_27
发表时间：
2005
期刊：
Journal of The Society of Materials Science, Japan
影响因子：
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作者：
Masahiko Kato;J. Zheng;Seiji Takezoe;K. Nakasa
通讯作者：
K. Nakasa
锥形压痕产生的泡罩场强度的测定与研究
影响因子：
1.6
作者：
M. Bobji;S. K. Biswas
通讯作者：
S. K. Biswas
重复纳米压痕下非晶SiC薄膜载荷-位移曲线的后向偏差和深度恢复
影响因子：
9.4
作者：
T. D. Raju;Masahiko Kato;K. Nakasa
通讯作者：
K. Nakasa