Combinatorial Masked Deposition : Simple Method to Control Deposition Flux and Its Spatial Distribution
Combinatorial Masked Deposition : Simple Method to Control Deposition Flux and Its Spatial Distribution
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组合掩模沉积:控制沉积通量及其空间分布的简单方法
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Noda et al.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y.Kajikawa et al.;Y.Kajikawa et al.;S.Noda et al.
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