A 9.45 MHz micromechanical disk resonator with movable electrodes for gap reduction
A 9.45 MHz micromechanical disk resonator with movable electrodes for gap reduction
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带有可移动电极的 9.45 MHz 微机械盘谐振器，用于减小间隙
DOI：
10.1016/j.sna.2016.03.010
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发表时间：
2016-06
影响因子：
4.6
通讯作者：
Du Yijia
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Li Xinyi;Bao Jingfu;Huang Yulin;Ling Yuan;Zheng Yingbin;Du Yijia
本文提出了一种带有可移动电极的微机电酒杯模态盘谐振器。可动电极由静电力驱动，以减小间隙，从而减少插入损耗。通过将间隙从 2.5 μm 减小到 0.5 μm，在 20 V 的相同偏置电压下，插入损耗从 -104 dB 改善到 -81 dB。然而，不稳定的可移动电极导致品质因数从 920,000 下降到 27,200。
A micro-electromechanical wine glass modal disk resonator with movable electrodes is presented in this paper. The movable electrodes were driven by electrostatic force for gap reduction to reduce insertion loss. By reducing the gap from 2.5 μm to 0.5 μm, the insertion loss improved from −104 dB to −81 dB at the same bias voltage of 20 V. However, unstable movable electrodes caused the quality factor to decrease from 920,000 to 27,200.
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DOI：
10.1109/freq.2005.1573914
发表时间：
2005-08
期刊：
Proceedings of the 2005 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition, 2005.
影响因子：
--
作者：
Yu-Wei Lin;Sheng-Shian Li;Yuan Xie;Z. Ren;C. Nguyen
通讯作者：
Yu-Wei Lin;Sheng-Shian Li;Yuan Xie;Z. Ren;C. Nguyen
DOI：
10.1109/freq.2005.1573895
发表时间：
2005
期刊：
Proceedings of the 2005 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition, 2005.
影响因子：
--
作者：
C. Nguyen
通讯作者：
C. Nguyen
影响因子：
4.6
作者：
Lee, Joshua E. -Y.;Seshia, Ashwin A.
通讯作者：
Seshia, Ashwin A.
影响因子：
2.7
作者：
Demirci, Mustafa U.;Nguyen, Clark T. -C.
通讯作者：
Nguyen, Clark T. -C.
DOI：
10.1109/memsys.2014.6765883
发表时间：
2014-03
期刊：
2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
--
作者：
E. Ng;Yushi Yang;V. Hong;C. Ahn;D. L. Christensen;B. Gibson;K. Qalandar;K. Turner;T. Kenny
通讯作者：
E. Ng;Yushi Yang;V. Hong;C. Ahn;D. L. Christensen;B. Gibson;K. Qalandar;K. Turner;T. Kenny