Aufbau zur flächigen reflektrometrischen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen
Aufbau zur flächigen reflektrometrischen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen
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用于横向移动层系统的表面反射层厚度测定的装置
DOI：
10.1515/teme-2015-0105
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Schardt
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Tremmel;Rauscher;Schardt
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适用于光谱询问系统的不同薄膜厚度评估算法的比较
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
Optical Engineering + Applications
影响因子：
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作者：
F. Hirth;A. Pérez Grassi;D. G. Dorigo;A. Koch
通讯作者：
A. Koch
薄膜反射测量中角度范围对厚度分辨率的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
International Symposium on Optomechatronic Technologies
影响因子：
--
作者：
F. Hirth;M. Rossner;M. Jakobi;A. Koch
通讯作者：
A. Koch
DOI：
10.3390/s131115747
发表时间：
2013-11-18
期刊：
Sensors (Basel, Switzerland)
影响因子：
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作者：
Grassi AP;Tremmel AJ;Koch AW;El-Khozondar HJ
通讯作者：
El-Khozondar HJ
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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作者：
C. Buzea;K. Robbie
通讯作者：
K. Robbie
Optische Messtechnik and technischen Oberflächen - Praxisorientierte Lasergestützte Verfahren zur Untersuchung technischer Objekte hinsichtlich Form, Oberflächenstruktur und Beschichtung
DOI：
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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作者：
Alexander W. Koch;Michael Ruprecht;Olaf Toedter;Gerd Häussler;S. Blossey;Harald Schoenfeld;Veit Windbichler
通讯作者：
Veit Windbichler