Electric and magnetic fields synergistically enhancing high power impulse magnetron sputtering deposition of vanadium coatings
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电场和磁场协同增强高功率脉冲磁控溅射沉积钒涂层
DOI：
10.1016/j.vacuum.2017.07.032
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发表时间：
2017-10
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
Shouxin Liu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Chunwei Li;Xiubo Tian;Chunzhi Gong;Shouxin Liu
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