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Thin film processing for micromachining and transducer research
用于微机械加工和传感器研究的薄膜加工
基本信息
- 批准号：123761-1992
- 负责人：
- 金额：$ 7.06万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
- 财政年份：1991
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1991-01-01 至 1992-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Parameswaran, MEENAKSHINATHAN其他文献
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105793-1998 - 财政年份：1998
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$ 7.06万 - 项目类别：
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CMOS and BiCMOS-based micromechanical sensors and actuators: Design, fabrication and modelling
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105793-1991 - 财政年份：1993
- 资助金额：
$ 7.06万 - 项目类别：
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- 批准号：
105793-1991 - 财政年份：1992
- 资助金额：
$ 7.06万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
CMOS and BiCMOS-based micromechanical sensors and actuators: Design, fabrication and modelling
基于 CMOS 和 BiCMOS 的微机械传感器和执行器：设计、制造和建模
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105793-1991 - 财政年份：1991
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$ 7.06万 - 项目类别：
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452421-2013 - 财政年份：2015
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Collaborative Research and Development Grants
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通过薄膜加工对二氧化硅基膜进行纳米调谐
- 批准号：
15H02313 - 财政年份：2015
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$ 7.06万 - 项目类别：
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Laser processing of transition metal oxide thin-film transistors for large-area flexible OLED displays
用于大面积柔性OLED显示器的过渡金属氧化物薄膜晶体管的激光加工
- 批准号：
452421-2013 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 7.06万 - 项目类别：
Collaborative Research and Development Grants
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- 批准号：
25620182 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 7.06万 - 项目类别：
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Formation of fractal-like thin-film structures and their potential functions by atmospheric-pressure post processing
通过大气压后处理形成分形薄膜结构及其潜在功能
- 批准号：
25600124 - 财政年份：2013
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$ 7.06万 - 项目类别：
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用于大面积柔性OLED显示器的过渡金属氧化物薄膜晶体管的激光加工
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452421-2013 - 财政年份：2013
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