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Thin film processing for micromachining and transducer research

Thin film processing for micromachining and transducer research
用于微机械加工和传感器研究的薄膜加工
批准号：
123761-1992
负责人：
Parameswaran, MEENAKSHINATHAN
金额：
$7.06万
依托单位：
Simon Fraser University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
财政年份：
1991
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
1991-01-01 至 1992-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=97465
关键词：
Thinfilmprocessingmicromachiningtransducer

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Micro-instrumentation systems for health care
  • 批准号：
    105793-1998
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.56万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    Parameswaran, MEENAKSHINATHAN
  • 依托单位：
    Simon Fraser University
Integrated micromachined fluid handling systems
  • 批准号：
    105793-1994
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.89万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    Parameswaran, MEENAKSHINATHAN
  • 依托单位：
    Simon Fraser University
Integrated micromachined fluid handling systems
  • 批准号：
    105793-1994
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.89万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    Parameswaran, MEENAKSHINATHAN
  • 依托单位：
    Simon Fraser University
Integrated micromachined fluid handling systems
  • 批准号：
    105793-1994
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.89万
  • 财政年份：
    1994
  • 负责人：
    Parameswaran, MEENAKSHINATHAN
  • 依托单位：
    Simon Fraser University
国内基金
海外基金
Kinetic Monte Carlo 模拟薄膜生长机理的研究
  • 批准号：
    10574059
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    12.0万元
  • 批准年份：
    2005
  • 负责人：
    郑小平
  • 依托单位：
    兰州交通大学
蒸汽爆炸中膜态沸腾条件下高温颗粒周围流体的热动力特性研究
  • 批准号：
    50376036
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2003
  • 负责人：
    杨燕华
  • 依托单位：
    上海交通大学