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CMOS and BiCMOS-based micromechanical sensors and actuators: Design, fabrication and modelling
基于 CMOS 和 BiCMOS 的微机械传感器和执行器：设计、制造和建模
基本信息
- 批准号：105793-1991
- 负责人：
- 金额：$ 1.31万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Discovery Grants Program - Individual
- 财政年份：1991
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1991-01-01 至 1992-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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