Modeling and Optimization in Submicron Device Fabrication

亚微米器件制造中的建模和优化

基本信息

  • 批准号：
    7714660
  • 负责人：
    A. Neureuther
  • 金额：
    $ 24万
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
  • 依托单位国家：
    美国
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 财政年份：
    1977
  • 资助国家：
    美国
  • 起止时间：
    1977-08-15 至 1981-07-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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A. Neureuther其他文献

Understanding quencher mechanisms by considering photoacid-dissociation equilibrium in chemically amplified resists
通过考虑化学放大抗蚀剂中的光酸解离平衡来了解猝灭剂机制
  • DOI：
    10.1117/12.598949
  • 发表时间：
    2005
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    S. Nagahara;Lei Yuan;W. Poppe;A. Neureuther;Y. Kono;A. Sekiguchi;K. Fujiwara;Tsuyoshi Watanabe;K. Taira;S. Kusumoto;T. Nakano;T. Shimokawa
  • 通讯作者：
    T. Shimokawa
Quantitative phase retrieval with arbitrary pupil and illumination.
任意瞳孔和照明的定量相位检索。
  • DOI：
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    Optics Express
  • 影响因子：
    3.8
  • 作者：
    Rene A. Claus;P. Naulleau;A. Neureuther;L. Waller
  • 通讯作者：
    L. Waller
Alignment Signals from Symmetrical Silicon Marks for Electron Beam Lithography
用于电子束光刻的对称硅标记的对准信号
Pattern and probe-based aberration monitors for the human eye
用于人眼的基于图案和探头的像差监视器
Mechanistic Advantages of Organotin Molecular EUV Photoresists.
有机锡分子 EUV 光刻胶的机械优势。
  • DOI：
    10.1021/acsami.1c12411
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
    ACS applied materials & interfaces
  • 影响因子：
    9.5
  • 作者：
    Jonathan H. Ma;Craig D. Needham;Han Wang;A. Neureuther;D. Prendergast;P. Naulleau
  • 通讯作者：
    P. Naulleau

A. Neureuther的其他文献

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  • 期刊：
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  • 通讯作者：
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Investigation and Modeling of Processes For VLSI
VLSI 流程的研究和建模
  • 批准号：
    8106243
  • 财政年份：
    1981
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Continuing Grant
Specialized Engineering Research Equipment: Plasma ChemicalSystem For Dry Processing
专业工程研究设备：干法等离子体化学系统
  • 批准号：
    7923976
  • 财政年份：
    1980
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Standard Grant
The Limits of Optical Lithography
光学光刻的局限性
  • 批准号：
    7821528
  • 财政年份：
    1979
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Standard Grant
Photoresist Modeling and Device Fabrication Applications
光刻胶建模和器件制造应用
  • 批准号：
    7411771
  • 财政年份：
    1975
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Standard Grant

相似国自然基金

Scalable Learning and Optimization: High-dimensional Models and Online Decision-Making Strategies for Big Data Analysis
  • 批准号：
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    2024
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  • 批准号：
    70601028
  • 批准年份：
    2006
  • 资助金额：
    7.0 万元
  • 项目类别：
    青年科学基金项目

相似海外基金

Real Versus Digital: Sustainability optimization for cultural heritage preservation in national libraries
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    AH/Z000041/1
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    2338559
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    Standard Grant
CAREER: From Dynamic Algorithms to Fast Optimization and Back
职业：从动态算法到快速优化并返回
  • 批准号：
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    2024
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    Continuing Grant
CAREER: Structured Minimax Optimization: Theory, Algorithms, and Applications in Robust Learning
职业：结构化极小极大优化：稳健学习中的理论、算法和应用
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    2338846
  • 财政年份：
    2024
  • 资助金额：
    $ 24万
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Collaborative Research: An Integrated Framework for Learning-Enabled and Communication-Aware Hierarchical Distributed Optimization
协作研究：支持学习和通信感知的分层分布式优化的集成框架
  • 批准号：
    2331710
  • 财政年份：
    2024
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
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Collaborative Research: An Integrated Framework for Learning-Enabled and Communication-Aware Hierarchical Distributed Optimization
协作研究：支持学习和通信感知的分层分布式优化的集成框架
  • 批准号：
    2331711
  • 财政年份：
    2024
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Standard Grant
CAS: Optimization of CO2 to Methanol Production through Rapid Nanoparticle Synthesis Utilizing MOF Thin Films and Mechanistic Studies.
CAS：利用 MOF 薄膜和机理研究，通过快速纳米粒子合成优化 CO2 生产甲醇。
  • 批准号：
    2349338
  • 财政年份：
    2024
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Continuing Grant
CAREER: Mitigating the Lack of Labeled Training Data in Machine Learning Based on Multi-level Optimization
职业：基于多级优化缓解机器学习中标记训练数据的缺乏
  • 批准号：
    2339216
  • 财政年份：
    2024
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Continuing Grant
Planning: Artificial Intelligence Assisted High-Performance Parallel Computing for Power System Optimization
规划：人工智能辅助高性能并行计算电力系统优化
  • 批准号：
    2414141
  • 财政年份：
    2024
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Standard Grant
CAREER: Personalized, wearable robot mobility assistance considering human-robot co-adaptation that incorporates biofeedback, user coaching, and real-time optimization
职业：个性化、可穿戴机器人移动辅助，考虑人机协同适应，结合生物反馈、用户指导和实时优化
  • 批准号：
    2340519
  • 财政年份：
    2024
  • 资助金额：
    $ 24万
  • 项目类别：
    Continuing Grant
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