Specialized Engineering Research Equipment: Plasma ChemicalSystem For Dry Processing

专业工程研究设备：干法等离子体化学系统

基本信息

  • 批准号：
    7923976
  • 负责人：
    A. Neureuther
  • 金额：
    $ 5.63万
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
  • 依托单位国家：
    美国
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 财政年份：
    1980
  • 资助国家：
    美国
  • 起止时间：
    1980-02-15 至 1981-07-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

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  • 通讯作者：
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    P. Naulleau
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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
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    {{ item.doi }}
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    {{ item.publish_year }}
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    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
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    {{ item.authors }}
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    {{ item.author }}
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{{ showInfoDetail.title }}

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