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Specialized Engineering Research Equipment: Plasma ChemicalSystem For Dry Processing

Specialized Engineering Research Equipment: Plasma ChemicalSystem For Dry Processing
专业工程研究设备：干法等离子体化学系统
批准号：
7923976
负责人：
A. Neureuther
金额：
$5.63万
依托单位：
University of California-Berkeley
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1980
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1980-02-15 至 1981-07-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=7923976&HistoricalAwards=false
关键词：
SpecializedEngineeringResearchEquipmentPlasma

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Investigation and Modeling of Processes For VLSI
  • 批准号：
    8106243
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 资助金额：
    $41.47万
  • 财政年份：
    1981
  • 负责人：
    A. Neureuther
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
The Limits of Optical Lithography
  • 批准号：
    7821528
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $17.9万
  • 财政年份：
    1979
  • 负责人：
    A. Neureuther
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
Modeling and Optimization in Submicron Device Fabrication
  • 批准号：
    7714660
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 资助金额：
    $24.0万
  • 财政年份：
    1977
  • 负责人：
    A. Neureuther
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
Photoresist Modeling and Device Fabrication Applications
  • 批准号：
    7411771
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $6.5万
  • 财政年份：
    1975
  • 负责人：
    A. Neureuther
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
国内基金
海外基金
Frontiers of Environmental Science & Engineering
  • 批准号：
    51224004
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2012
  • 负责人：
    朱建军
  • 依托单位：
    高等教育出版社有限公司
Chinese Journal of Chemical Engineering
  • 批准号：
    21224004
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2012
  • 负责人：
    廖叶华
  • 依托单位：
    化学工业出版社
Chinese Journal of Chemical Engineering
  • 批准号：
    21024805
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    廖叶华
  • 依托单位：
    化学工业出版社