Photoresist Modeling and Device Fabrication Applications

光刻胶建模和器件制造应用

基本信息

  • 批准号：
    7411771
  • 负责人：
    A. Neureuther
  • 金额：
    $ 6.5万
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
  • 依托单位国家：
    美国
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 财政年份：
    1975
  • 资助国家：
    美国
  • 起止时间：
    1975-01-01 至 1977-06-30
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

A. Neureuther其他文献

Understanding quencher mechanisms by considering photoacid-dissociation equilibrium in chemically amplified resists
通过考虑化学放大抗蚀剂中的光酸解离平衡来了解猝灭剂机制
  • DOI：
    10.1117/12.598949
  • 发表时间：
    2005
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    S. Nagahara;Lei Yuan;W. Poppe;A. Neureuther;Y. Kono;A. Sekiguchi;K. Fujiwara;Tsuyoshi Watanabe;K. Taira;S. Kusumoto;T. Nakano;T. Shimokawa
  • 通讯作者：
    T. Shimokawa
Quantitative phase retrieval with arbitrary pupil and illumination.
任意瞳孔和照明的定量相位检索。
  • DOI：
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    Optics Express
  • 影响因子：
    3.8
  • 作者：
    Rene A. Claus;P. Naulleau;A. Neureuther;L. Waller
  • 通讯作者：
    L. Waller
Alignment Signals from Symmetrical Silicon Marks for Electron Beam Lithography
用于电子束光刻的对称硅标记的对准信号
Pattern and probe-based aberration monitors for the human eye
用于人眼的基于图案和探头的像差监视器
Mechanistic Advantages of Organotin Molecular EUV Photoresists.
有机锡分子 EUV 光刻胶的机械优势。
  • DOI：
    10.1021/acsami.1c12411
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
    ACS applied materials & interfaces
  • 影响因子：
    9.5
  • 作者：
    Jonathan H. Ma;Craig D. Needham;Han Wang;A. Neureuther;D. Prendergast;P. Naulleau
  • 通讯作者：
    P. Naulleau

A. Neureuther的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
立即体验

{{ truncateString('A. Neureuther', 18)}}的其他基金

Investigation and Modeling of Processes For VLSI
VLSI 流程的研究和建模
  • 批准号：
    8106243
  • 财政年份：
    1981
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Continuing Grant
Specialized Engineering Research Equipment: Plasma ChemicalSystem For Dry Processing
专业工程研究设备：干法等离子体化学系统
  • 批准号：
    7923976
  • 财政年份：
    1980
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Standard Grant
The Limits of Optical Lithography
光学光刻的局限性
  • 批准号：
    7821528
  • 财政年份：
    1979
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Standard Grant
Modeling and Optimization in Submicron Device Fabrication
亚微米器件制造中的建模和优化
  • 批准号：
    7714660
  • 财政年份：
    1977
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Continuing Grant

相似国自然基金

Galaxy Analytical Modeling Evolution (GAME) and cosmological hydrodynamic simulations.
  • 批准号：
  • 批准年份：
    2025
  • 资助金额：
    10.0 万元
  • 项目类别：
    省市级项目

相似海外基金

Acoustic-anatomic modeling and development of a patient-specific wearable therapeutic ultrasound device for peripheral arterial disease
针对外周动脉疾病的患者专用可穿戴超声治疗设备的声学解剖建模和开发
  • 批准号：
    10603253
  • 财政年份：
    2023
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
Computational Modeling of Device-Induced Platelet Activation and Receptor Shedding Relevant to Thrombosis and Bleeding in Device-Assisted Circulation
与装置辅助循环中血栓形成和出血相关的装置诱导血小板激活和受体脱落的计算模型
  • 批准号：
    10582083
  • 财政年份：
    2022
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
CAREER: Understanding and Modeling of Cryogenic Semiconductor Device Physics down to 4.2K
职业：低至 4.2K 的低温半导体器件物理的理解和建模
  • 批准号：
    2046220
  • 财政年份：
    2021
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Continuing Grant
Collaborative Research: CNS core: OAC core: Small: New Techniques for I/O Behavior Modeling and Persistent Storage Device Configuration
合作研究： CNS 核心：OAC 核心：小型：I/O 行为建模和持久存储设备配置新技术
  • 批准号：
    2008324
  • 财政年份：
    2020
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Standard Grant
Collaborative Research: CNS core: OAC core: Small: New Techniques for I/O Behavior Modeling and Persistent Storage Device Configuration
合作研究： CNS 核心：OAC 核心：小型：I/O 行为建模和持久存储设备配置新技术
  • 批准号：
    2008072
  • 财政年份：
    2020
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Standard Grant
Computer modeling of cardiac conduction system for arrhythmia research and implantable device testing
用于心律失常研究和植入式设备测试的心脏传导系统计算机建模
  • 批准号：
    20K12046
  • 财政年份：
    2020
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Multi-organ-on-chip device for modeling opioid reinforcement and withdrawal, and the negative affective component of pain: a therapeutic screening tool.
用于模拟阿片类药物强化和戒断以及疼痛的负面情感成分的多器官芯片设备：一种治疗筛选工具。
  • 批准号：
    10435316
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
Interrogate: Interfaces in perovskite solar cells investigated with photoelectron spectroscopy and modelling: Feed Back Loop of Full Device Fabrication, Full Device Photoelectron spectroscopy Operando Characterization, and Full Device Modeling
询问：通过光电子能谱和建模研究钙钛矿太阳能电池中的界面：全器件制造的反馈回路、全器件光电子能谱操作表征和全器件建模
  • 批准号：
    423746744
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Priority Programmes
Modeling and control introduced a fractional-order transfer function for highly precise positioning device with a flat damper
建模和控制引入了带有平面阻尼器的高精度定位装置的分数阶传递函数
  • 批准号：
    19K14931
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Multi-organ-on-chip device for modeling opioid reinforcement and withdrawal, and the negative affective component of pain: a therapeutic screening tool.
用于模拟阿片类药物强化和戒断以及疼痛的负面情感成分的多器官芯片设备：一种治疗筛选工具。
  • 批准号：
    10326436
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 6.5万
  • 项目类别：
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

知道了