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Investigation and Modeling of Processes For VLSI
VLSI 流程的研究和建模
基本信息
- 批准号：8106243
- 负责人：
- 金额：$ 41.47万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Continuing Grant
- 财政年份：1981
- 资助国家：美国
- 起止时间：1981-05-15 至 1985-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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A. Neureuther其他文献
Understanding quencher mechanisms by considering photoacid-dissociation equilibrium in chemically amplified resists
通过考虑化学放大抗蚀剂中的光酸解离平衡来了解猝灭剂机制
- DOI：
10.1117/12.598949 - 发表时间：
2005 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
S. Nagahara;Lei Yuan;W. Poppe;A. Neureuther;Y. Kono;A. Sekiguchi;K. Fujiwara;Tsuyoshi Watanabe;K. Taira;S. Kusumoto;T. Nakano;T. Shimokawa - 通讯作者：
T. Shimokawa
Quantitative phase retrieval with arbitrary pupil and illumination.
任意瞳孔和照明的定量相位检索。
- DOI：
- 发表时间：
2015 - 期刊：
- 影响因子：3.8
- 作者：
Rene A. Claus;P. Naulleau;A. Neureuther;L. Waller - 通讯作者：
L. Waller
Alignment Signals from Symmetrical Silicon Marks for Electron Beam Lithography
用于电子束光刻的对称硅标记的对准信号
- DOI：
10.1149/1.2119862 - 发表时间：
1983 - 期刊：
- 影响因子：3.9
- 作者：
Y. Lin;A. Neureuther;W. Oldham - 通讯作者：
W. Oldham
Pattern and probe-based aberration monitors for the human eye
用于人眼的基于图案和探头的像差监视器
- DOI：
10.1116/1.1615976 - 发表时间：
2003 - 期刊：
- 影响因子：1.4
- 作者：
G. Robins;A. Neureuther - 通讯作者：
A. Neureuther
Mechanistic Advantages of Organotin Molecular EUV Photoresists.
有机锡分子 EUV 光刻胶的机械优势。
- DOI：
10.1021/acsami.1c12411 - 发表时间：
2022 - 期刊：
- 影响因子：9.5
- 作者：
Jonathan H. Ma;Craig D. Needham;Han Wang;A. Neureuther;D. Prendergast;P. Naulleau - 通讯作者：
P. Naulleau
A. Neureuther的其他文献
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{{ truncateString('A. Neureuther', 18)}}的其他基金
Specialized Engineering Research Equipment: Plasma ChemicalSystem For Dry Processing
专业工程研究设备：干法等离子体化学系统
- 批准号：
7923976 - 财政年份：1980
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Standard Grant
Modeling and Optimization in Submicron Device Fabrication
亚微米器件制造中的建模和优化
- 批准号：
7714660 - 财政年份：1977
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Continuing Grant
Photoresist Modeling and Device Fabrication Applications
光刻胶建模和器件制造应用
- 批准号：
7411771 - 财政年份：1975
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Standard Grant
相似国自然基金
Galaxy Analytical Modeling
Evolution (GAME) and cosmological
hydrodynamic simulations.
- 批准号：
- 批准年份：2025
- 资助金额：10.0 万元
- 项目类别：省市级项目
相似海外基金
NSF-BSF: Collaborative Research: Solids and reactive transport processes in sewer systems of the future: modeling and experimental investigation
NSF-BSF：合作研究：未来下水道系统中的固体和反应性输送过程：建模和实验研究
- 批准号：
2134594 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Standard Grant
NSF-BSF: Collaborative Research: Solids and reactive transport processes in sewer systems of the future: modeling and experimental investigation
NSF-BSF：合作研究：未来下水道系统中的固体和反应性输送过程：建模和实验研究
- 批准号：
2134747 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Standard Grant
Investigation of Combined Loading Effects during Testing, Modeling and Optimization of Woven Fabrics under Uncertainty: An Application to Forming Processes
不确定性下机织织物测试、建模和优化过程中组合载荷效应的研究：在成型过程中的应用
- 批准号：
355751-2013 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Investigation of one-dimensional migration processes of self-interstitial atom clusters and modeling of defect structural evolution under cascade damage conditions
级联损伤条件下自填隙原子团一维迁移过程研究及缺陷结构演化建模
- 批准号：
15K06663 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Investigation of Combined Loading Effects during Testing, Modeling and Optimization of Woven Fabrics under Uncertainty: An Application to Forming Processes
不确定性下机织织物测试、建模和优化过程中组合载荷效应的研究：在成型过程中的应用
- 批准号：
355751-2013 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Rub-in processes in turbines - experimental investigation and modeling
涡轮机的磨合过程 - 实验研究和建模
- 批准号：
268769401 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Research Grants
Investigation of Combined Loading Effects during Testing, Modeling and Optimization of Woven Fabrics under Uncertainty: An Application to Forming Processes
不确定性下机织织物测试、建模和优化过程中组合载荷效应的研究：在成型过程中的应用
- 批准号：
355751-2013 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Investigation of Combined Loading Effects during Testing, Modeling and Optimization of Woven Fabrics under Uncertainty: An Application to Forming Processes
不确定性下机织织物测试、建模和优化过程中组合载荷效应的研究：在成型过程中的应用
- 批准号：
355751-2013 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Investigation of human cognitive processes in category learning by empirical and computational modeling studies
通过实证和计算模型研究研究类别学习中的人类认知过程
- 批准号：
20700235 - 财政年份：2008
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Perceptual processes and emotional responses of music: cross-cultural investigation and cognitive modeling
音乐的感知过程和情感反应：跨文化调查和认知建模
- 批准号：
15200019 - 财政年份：2003
- 资助金额：
$ 41.47万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)