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A Low Temperature Technology for Three-Dimensional Integrated Circuits

A Low Temperature Technology for Three-Dimensional Integrated Circuits
三维集成电路低温技术
批准号：
8303450
负责人：
Rafael Reif
金额：
$22.09万
依托单位：
Massachusetts Institute of Technology
依托单位国家：
美国
项目类别：
Continuing Grant
财政年份：
1983
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1983-05-15 至 1986-10-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8303450&HistoricalAwards=false
关键词：
LowTemperatureTechnologyThreeDimensional

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