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MIT Microfabrication Infrastructure
麻省理工学院微加工基础设施
基本信息
- 批准号：9512183
- 负责人：
- 金额：$ 34.38万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Standard Grant
- 财政年份：1995
- 资助国家：美国
- 起止时间：1995-09-01 至 1997-08-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
9512183 Kastner This proposal request equipment to upgrade two existing MIT facilities: (1) the Microsystems Technology Laboratory (MTL) devoted to ultraclean semiconductor processing and (2) the Microfabrication Shared Experimental Facility (MSEF) for fabricating general-purpose microstructures. The request for the MSEF facility consists of an e-beam evaporator, a thermal evaporator, a device characterization station and sputtering system, while the MTL request is for a chemical mechanical polishing (CMP) for silicon wafers and an ECR RIE plasma CVD system. ***
小行星9512183 该提案要求设备升级麻省理工学院现有的两个设施：（1）微系统技术实验室（MTL）致力于超净半导体加工和（2）微制造共享实验设施（MSEF）制造通用微结构。 对MSEF设施的申请包括一个电子束蒸发器、一个热蒸发器、一个器件表征站和溅射系统，而MTL的申请是硅晶片的化学机械抛光和ECR RIE等离子体CVD系统。 ***
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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- 资助金额：
$ 34.38万 - 项目类别：
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- 批准号：
EP/W026929/1 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 34.38万 - 项目类别：
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- 批准号：
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$ 34.38万 - 项目类别：
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