权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

Halogen Atom Source for Semiconductor Etching

用于半导体蚀刻的卤素原子源

基本信息

批准号：
8808058
负责人：
Andrew Freedman
金额：
$ 22.88万
依托单位：
Aerodyne Research Inc
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1988
资助国家：
美国
起止时间：
1988-12-15 至 1991-05-31
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8808058&HistoricalAwards=false
关键词：
Halogen Atom Source Semiconductor Etching

项目摘要

This Phase II SBIR project provides for the development and demonstration of novel applications of an ultrahigh vacuum compatible, microwave discharge source of chlorine and fluorine atoms. Chemically assisted etching of semiconductor materials with halogen atoms in conjunction with photon, electron, and ion stimulation will be investigated. The Phase I project was successful in demonstrating that a previously developed fluorine atom source could be modified so as to produce chlorine atoms.

第二阶段SBIR项目提供了开发和展示了一种可与真空兼容的，微波放电源的氯和氟原子。化学用卤素原子辅助蚀刻半导体材料结合光子、电子和离子刺激，研究了第一阶段项目成功地证明了先前开发的氟原子源可以被修改，产生氯原子。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

DOI：
{{ item.doi }}
发表时间：
{{ item.publish_year }}
期刊：
{{ item.journal_name }}
影响因子：
{{ item.factor }}
作者：
{{ item.authors }}
通讯作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

Andrew Freedman其他文献

The Applicant's Perspective on Urology Residency Interviews: A Qualitative Analysis

DOI：
10.1016/j.urology.2020.02.047
发表时间：
2020-08-01
期刊：
Research article
影响因子：
作者：
Hanson Zhao;Colby P. Souders;Andrew Freedman;Benjamin N. Breyer;Jennifer T. Anger
通讯作者：
Jennifer T. Anger

A national audit evaluating the management of TB in HIV co-infected patients

DOI：
10.1016/j.jinf.2009.10.015
发表时间：
2009-12-01
期刊：
Conference abstract
影响因子：
作者：
Matthijs Backx;Hilary Curtis;Andrew Freedman;Margaret Johnson
通讯作者：
Margaret Johnson

Aircraft-engine particulate matter emissions from conventional and sustainable aviation fuel combustion: comparison of measurement techniques for mass, number, and size

传统和可持续航空燃料燃烧产生的飞机发动机颗粒物排放：质量、数量和尺寸测量技术的比较

DOI：
10.5194/amt-2021-320
发表时间：
2022
期刊：
Atmospheric Measurement Techniques
影响因子：
3.8
作者：
Joel C Corbin;T. Schripp;Bruce E. Anderson;Greg J. Smallwood;P. LeClercq;E. Crosbie;Steven L. Achterberg;P. Whitefield;R. Miake;Zhenhong Yu;Andrew Freedman;M. Trueblood;David Satterfield;Wenyan Liu;Patrick Oßwald;C. Robinson;M. Shook;Richard H. Moore;P. Lobo
通讯作者：
P. Lobo

642 URETHRAL CATHETERIZATION IN CHILDREN-WHOM DOES IT HURT?

DOI：
10.1016/j.juro.2013.02.195
发表时间：
2013-04-01
期刊：
Conference abstract
影响因子：
作者：
Andrew Freedman;Alan Quach
通讯作者：
Alan Quach

Evaluation of methods for characterizing the fine particulate matter emissions from aircraft and other diffusion flame combustion aerosol sources

飞机和其他扩散火焰燃烧气溶胶源细颗粒物排放特征方法的评估

DOI：
发表时间：
2024
期刊：
Journal of Aerosol Science
影响因子：
4.5
作者：
R. Giannelli;J. Stevens;J. Kinsey;David Kittelson;Alla Zelenyuk;R. Howard;Mary Forde;B. Hoffman;C. Leggett;Bruce Maeroff;Nick Bies;Jacob Swanson;K. Suski;Gregory Payne;Julien Manin;Richard Frazee;Tim Onasch;Andrew Freedman;Imad A. Khalek;Huzeifa Badshah;Daniel Preece;V. Premnath;Scott Agnew
通讯作者：
Scott Agnew