半导体制造中的过程控制、诊断和建模 I（研讨会将于 1995 年 5 月 2 日至 26 日在内布拉斯加州里诺举行）-猫眼课题宝

半导体制造中的过程控制、诊断和建模 I（研讨会将于 1995 年 5 月 2 日至 26 日在内布拉斯加州里诺举行）

批准号：

9521742

负责人：

M. Meyyappan

金额：

$0.4万

依托单位：

Electrochemical Society

依托单位国家：

美国

项目类别：

Standard Grant

财政年份：

1995

资助国家：

美国

项目状态：

已结题

起止时间：

1995-04-01 至 1996-03-31

来源：

https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9521742&HistoricalAwards=false

关键词：

Process Control Diagnostics Modeling Semiconductor

项目摘要

项目成果

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中文摘要

翻译

9521742 Meyappan提供的资金将用于资助研究生参加第一届半导体制造过程控制、诊断和建模研讨会的旅费，该研讨会致力于微电子制造领域的最新发展。***

英文摘要

9521742 Meyyappan The funds provided will be used to support travel costs incurred by graduate students attending the First Symposium on Process Control, Diagnostics and Modeling in Semiconductor Manufacturing, a symposium dedicated to recent developments in the field of micoelectronic manufacturing. ***

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