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Engineering Research Equipment: Analytical Probes for In Situ Characterization of an Ultrahigh Vacuum Thin Film Desposition Reactor
工程研究设备：超高真空薄膜沉积反应器原位表征分析探针
基本信息
- 批准号：9610123
- 负责人：
- 金额：$ 2.8万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Standard Grant
- 财政年份：1997
- 资助国家：美国
- 起止时间：1997-06-01 至 2000-05-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
ABSTRACT Proposal Number: CTS-9610123 Principal Investigator: James R. Engstrom Institution: Cornell University Probes for an existing UHV reactor dedicated to semiconductor thin-film deposition will be purchased. They will include: a quadrupole mass spectrometer with molecular-beam compatible cross-beam ionizer and negative or positive ion detection capability: a translation stage for sample positioning; a refrigeration trap for the quadrupole mass spectrometer; a lock-in amplifier for reverse-view LEED or retarding-field Auger spectroscopy; and accessories.
项目编号：CTS-9610123项目负责人：James R. Engstrom机构：康奈尔大学将购买用于半导体薄膜沉积的特高压反应器的探针。它们将包括：具有分子束兼容交叉束电离器和负离子或正离子检测能力的四极杆质谱仪；用于样品定位的平移台；四极质谱计的制冷陷阱用于反向视场LEED或延迟场俄歇光谱的锁定放大器；及配件。
项目成果
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专著数量（0）
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会议论文数量（0）
专利数量（0）
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