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Combination of SU8 and Diamond-like Carbon for New Generation of Highly Sensitive Piezoresistive Sensors

SU8 与类金刚石碳的组合用于新一代高灵敏度压阻传感器

基本信息

批准号：
107376013
负责人：
Professor Dr. Stephanus Büttgenbach
金额：
--
依托单位：
Institut für Oberflächentechnik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2009
资助国家：
德国
起止时间：
2008-12-31 至 2013-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/107376013?language=en
关键词：
Combination SU8 Diamond like Carbon

项目摘要

Taktile Sensoren mit diffundierten Silizium-Piezowiderständen wurden in den letzten Jahren von verschiedenen Gruppen erfolgreich entwickelt. Das Ziel dieses Projektes ist es, taktile Sensoren aus neuen Materialien zu entwickeln, die gegenüber konventionellen taktilen Siliziumsensoren eine erhöhte Empfindlichkeit besitzen.Für die Herstellung der beanspruchten Bauelemente wird SU8 Resist für Biegebalken und Boss-Membranen verwendet. DLC soll hierbei als Piezowiderstand in die SU8-Elemente integriert werden, um eine sehr hohe Empfindlichkeit der Sensoren auf Grund des niedrigen E-Moduls von SU8 und des hohen K-Faktors (Dehnempfindlichkeit) der DLC-Schichten zu realisieren.Die Anwendungen für derartige Kraftsensoren sind nicht auf Messungen der Geometrie oder der Charakterisierung von Mikroaktoren und Mikromotoren begrenzt. Da sowohl SU8 als auch DLC biokompatibel sind, eröffnet sich ein Anwendungsgebiet im Bereich der Biosensoren, z.B. beim DNA- und Proteinnachweis.DLC kann in verschiedenen Modifikationen abhängig von dem Verfahren und den Prozessparametern abgeschieden werden. Der thermische Koeffizient des Widerstandes sowie die Dehnempfindlichkeit der Schichten hängen von der jeweiligen Modifikation der DLC-Schichten ab. In diesem Projekt sollen gesputterte amorphe Kohlenstoffschichten (a-C) und mittels Plasma-CVD abgeschiedene Kohlenwasserstoffschichten (a-C:H) untersucht werden.Die Prozessentwicklung, Charakterisierung und Optimierung der Schichtherstellung der DLC-Schichten soll unter folgenden Aspekten erfolgen:− Erhöhung der Empfindlichkeit der Piezowiderstände, d.h. Erhöhung des K-Faktors,− Einstellen eines geringen thermischen Koeffizienten des Widerstandes,− Reduktion der Abscheidetemperatur, um eine Abscheidung auf SU8 ohne Substratschädigung zu gewährleisten,− Reduktion der Spannungen der abgeschiedenen Schichten, um eine gute Haftung auf SU8 zu erzielen.

他说：“这是一种不同的生活方式。”这是一件很重要的事情，因为它是一件很重要的事情，因为它是一件很重要的事情，因为它是一件很重要的事情。在DLC-Schichten zu Realisieren中，DLC soll hierbeaAls Piezowiderstand in die Su8-Element e Engriert Wen，um ehr sehr hohe Empfindlichkeit der Sensoren auf Grund des niedrigen E-moduls von Nieedrigen and des Hohen K-Faktors(Dehnempfindlichkeit)der DLC-Schichten zu Realisieren.Die Anwendungen für derartige Kraftsensoren sind Nicht auf Messungen auf Messungen der Charakterisierung von Mikroaktoren and Mikromotoren beenzgrt.在此基础上，提出了一种新的技术改造方案，并对其进行了改进。在DLC-Schichten ab的基础上，对DLC-Schichten ab进行了改造。在这两个项目中，不存在这样的问题：−Erhöung der Empfindlichkeit der Piezowiderstände，D.H.−Einstellen eines Geringen thermischen Koeffizienten des Widerstand，−Reduktion der Abscheidetematur，um eine Abscheidung auf Su8 ohne Substratschädigung zewährleisten，−Reduktion der Spannungen der abgeschiedenen Schichten，um eine Gute Gute Haftung auf Su8 zu erzielen.