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Konzeption, Herstellung, Erprobung und Spezifikation eines streifigkeitsangepassten Mikrotasters aus Kunststoff zur Verwendung in einem dreidimensionale Koordinatenmessgerät. (Kurzname: Mikropolymertaster)

用于三维坐标测量机的条形塑料微探针的构思、生产、测试和规格。

基本信息

批准号：
163310809
负责人：
Professor Dr. Stephanus Büttgenbach
金额：
--
依托单位：
Präsidium
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2010
资助国家：
德国
起止时间：
2009-12-31 至 2014-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/163310809?language=en
关键词：
Konzeption Herstellung Erprobung und Spezifikation

项目摘要

Zunehmende Miniaturisierung für die Mikro- und Nanotechnik stellt immer höhere Anforderungen an die dimensionelle Messtechnik. Koordinatenmessgeräte (KMG) sind wesentlicher Bestandteil der Qualitätssicherung der Fertigungsprozesse, z. B. im Automobilbau, Maschinenbau oder in der Luft- und Raumfahrttechnik. Häufig handelt es sich bei KMGs um taktil arbeitende Messgeräte. Die zum Einsatz kommenden Taster ermöglichen eine kraft- oder auslenkungsgeregelte Positionserfassung. Die Taster zur Erfassung von Mikrostrukturen werden Mikrotaster genannt. Sie ermöglichen die taktile Messung von Mikrostrukturen oder Oberflächen. Ein Mikrotaster besteht aus einem Kraftsensor und einem meist vertikal ausgerichteten Taststift (Abbildung 1). Am IMT wurde ein so genannter „Bosstaster“ – ein monolithischer dreidimensionaler Mikrotaster auf der Basis der Silizium-Technologie – entwickelt und gefertigt. Als Kraftsensor dient eine Silizium-Bossmembran mit eindiffundierten Piezowiderständen, die die Verformungen der Membran detektieren. Zur Einleitung der Kraft wird ein Taststift auf dem Boss der Membran aufgebracht. An dem Taststift werden die Tastkugeln befestigt. Gebräuchlich sind Tastkugeln mit einem Minimaldurchmesser von 300 μm. Der verwendete Taststift aus Hartmetall ist durch die angewandten Fertigungstechnologien kostspielig und auf einfache Geometrien begrenzt. Relativ komplexe Taststiftgeometrien können durch die Mikrospritzgieß-Technologie wirtschaftlich hergestellt werden. Funktionsbeeinflussende Parameter wie Steifigkeit, Dämpfung oder Dichte können durch die Auswahl des Kunststoffes sowie des Füllmaterials eingestellt werden. Das Ziel dieses Projektes ist es, einen Polymermikrotaster mit mindestens zwei Taststiften aus Kunststoff zu entwickeln, der auf Basis des Bosstasters das volle Potential des Kraftsensors ausschöpft. Das Mikrospritzgießen gewährleistet eine hohe Verfügbarkeit der Messtaster für unterschiedliche Messaufgaben bei komplexen Geometrien.

Zunehmende Miniaturisierung für die Mikro- und Nanotechnik stelt immer höhere Anforderungen an die dimensielle Messtechnik. KMG公司是一家以生产过程质量控制为核心的公司。B。汽车制造、机械制造或航空航天技术。Häufig handelt es sich bei KMG um taktil arbeitende Messgeräte.一位品尝者要求一个牛皮纸或一个定位器。品尝者品尝了韦尔登的微结构。您可以从Mikrostrukturen或Oberflächen获得可测量的数据。一个Mikrotaster最好来自一个Kraftsensor和一个meist vertikal ausgerichteten Taststift（Abbildung 1）。Am IMT wurde ein so genannter“Bosstaster”-an monolithischer dreidimensionaler Mikrotaster auf der Basis der Silizium-Technology- entwickelt und gefertigt.所有Kraftsensor都有一个硅-Bossmembran，带有一个扩散的压电元件，用于检测膜的变形。卡夫食品的入口将是一种美味，而这是一种在膜上的老板的美味。一个美味的韦尔登会把美味的味道摆在最前面。Gebräuchlich sind Tastkugeln mit einem Minimaldurchmesser von 300 μm.从硬质合金中品尝到的美味是通过改变肥料技术的成本和几何学来实现的。相对复杂的味觉几何学通过微喷技术获得韦尔登。功能影响参数如Steifigkeit、Dämpfung或Dichte können durch die Auswahl des Kunststoffes sowie des Füllmaterials eingestellt韦尔登。这两个项目是一个聚合物转子，它具有两种来自艺术家的品味，以博斯特斯特的基础作为卡夫传感器的潜在优势。Das Mikrospritzgießen gewährleistet eine hohe Verfügbarkeit der Messtaster für unterdensiedliche Messaufgaben bei komplexen Geometrien.