Nanotools for NPM-Machines (B07*)

这是他们的工作，也就是他们的工作和工作。他说：“这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情。在NPM-Maschine集成中，Dazu和MikroTechnische WerkzeugköPfe Enwickelt，Dazu WerkzeugköPfe Enwickelt，Dazu和MikroTechnische WerkzeugköPfe Enwickelt，Dazu，MakroTechnische，WerkzeugköPfe Enwickelt，Dazu，WerkzeugköPfe entwickelt，Dazu，WerkzeugköPfe Enwickelt，Dazu，Werkze这是一项MEMS/NEMS/MEMS/NEMS技术。

Ziel dieses Teilprojektes ist es, die NPM-Maschine um neuartige Werkzeuge zu einer multifunktionalen Bearbeitungsstation zu erweitern. Die hochintegrierten optisch arbeitenden bzw. optisch adressierbaren Tools ermöglichen das berührungslose Manipulieren in Luft mittels optischer Pinzette und das Abtragen mittels optisch angeregter Plasmaätzung. Dazu werden mikrotechnische Werkzeugköpfe entwickelt, die flexibel in die NPM-Maschine integriert werden können. Damit werden neue Anwendungsfelder wie z.B. Kontroll- und Optimierungsmaßnahmen an MEMS / NEMS oder die Herstellung hochpräziser Kalibriernormale erschlossen.