Nanotools for NPM-Machines (B07*)

用于 NPM 机器的纳米工具 (B07*)

• 批准号: 137525275
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Technische Optik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Collaborative Research Centres
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/137525275?language=en
• 关键词: Nanotools; NPM; Machines; B07

Ziel dieses Teilprojektes ist es, die NPM-Maschine um neuartige Werkzeuge zu einer multifunktionalen Bearbeitungsstation zu erweitern. Die hochintegrierten optisch arbeitenden bzw. optisch adressierbaren Tools ermöglichen das berührungslose Manipulieren in Luft mittels optischer Pinzette und das Abtragen mittels optisch angeregter Plasmaätzung. Dazu werden mikrotechnische Werkzeugköpfe entwickelt, die flexibel in die NPM-Maschine integriert werden können. Damit werden neue Anwendungsfelder wie z.B. Kontroll- und Optimierungsmaßnahmen an MEMS / NEMS oder die Herstellung hochpräziser Kalibriernormale erschlossen.

这两个项目是，NPM机器是一个多功能的轴承站。最高集成光学工作站。optisch adressierbaren Tools ermöglichen das berührungslose Manipulieren in Luft mittels optischer Pinzette und das Abtragen mittels optisch angeregter Plasmaätzung.因此，韦尔登加工技术的发展，使得NPM-机械集成韦尔登加工具有灵活性。Damit韦尔登neue Anwendungsfelder wie z.B. Kontroll- und Optimierungsmaßnahmen an MEMS / NEMS oder die Herstellung hochpräziser Kalibriernormaleerschlossen.