Nanotools for NPM-Machines (B07*)

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Ziel dieses Teilprojektes ist es, die NPM-Maschine um neuartige Werkzeuge zu einer multifunktionalen Bearbeitungsstation zu erweitern. Die hochintegrierten optisch arbeitenden bzw. optisch adressierbaren Tools ermöglichen das berührungslose Manipulieren in Luft mittels optischer Pinzette und das Abtragen mittels optisch angeregter Plasmaätzung. Dazu werden mikrotechnische Werkzeugköpfe entwickelt, die flexibel in die NPM-Maschine integriert werden können. Damit werden neue Anwendungsfelder wie z.B. Kontroll- und Optimierungsmaßnahmen an MEMS / NEMS oder die Herstellung hochpräziser Kalibriernormale erschlossen.