Optical coatings by means of atomic layer deposition. Coating of subwavelength structured surfaces and adsorption of liquid crystals onto thin coatings.

通过原子层沉积的光学镀膜。

• 批准号: 144037136
• 负责人: Dr. Adriana Viorica Szeghalmi
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Angewandte Physik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Independent Junior Research Groups
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2018-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/144037136?language=en
• 关键词: Optical; coatings; means; atomic; layer

Im Rahmen des geplanten Forschungsprojektes werden dielektrische und metallische optische Beschichtungen mittels thermischer und plasma enhanced atomic layer deposition (ALD und PEALD) hergestellt. In situ-Ellipsometrie und Raman-Spektroskopie werden für eine gründliche Analyse und Verständnis des ALD-Prozesses durchgeführt. Diese Methoden liefern auch Auskunft über die Bildung erster Monolagen (seed layers) auf dem Substrat. Nanostrukturierte (sub wavelength structured) Substrate mit einer Periode wesentlich kleiner als die Wellenlänge des Lichtes werden mittels ALD beschichtet, um durch die Beschichtung verstärkte optische Eigenschaften (Form- Doppelbrechung, Resonanz- und Band-Lücken Effekte, künstliche Brechungsindices), zu erzielen. Durch die ALD-Beschichtung können innovative und effizientere Mikro- Optiken entwickelt werden. Eine Funktionalisierung von Polymersubstraten wird vorangetrieben, weil diese einfach strukturiert und leicht dotiert werden können. Eine weitere Richtung des Projektes befasst sich mit der Analyse der Adsorption von Flüssigkristallen an dünnen Schichten, mit der ALD-Beschichtung von Flüssigkristall- Nano-Aggregaten, und mit der Abstimmung der entsprechenden optischen Eigenschaften.

我是Rahman des geplants en Forschungsprojektes，Dielektrische and Metalische Optische Beschichtungen Mittels，thermischer and等离子增强原子层沉积(ALD And PEALD)hersterellt.用原位椭圆法和拉曼光谱分析等方法进行了分析。种子层(种子层)来自于DEM底物。纳米结构(亚波长结构)衬底周期为Kleiner Als die Wellenlänge des Lichtes Well Mentlich Wellenlänge des Lichtes Wellenlänge des Michtes Well Mittels ald Beschichtung verstärkte Optische Eigenschaften(Form-udelbleEigenschaften)，Resonanz-und Bigenschaften(Form-udelsche Eigenschaften，Resonanz-und Band-Lücken Effekte，künstliche Brechungsindex)，zu erzielen。我们一直在不断地创新和提高产品的质量。我们的功能是聚合，但结构和质量都不是很好。我们对Flüssigkristallen和dünnen Schichten的吸附进行了分析，并对Flüssigkristall-Nano-Aggregten和MIT der Abstimmung der entsprechenden optischen Eigenschaften进行了分析。

项目成果

Growth of Atomic Layer Deposited Ruthenium and Its Optical Properties at Short Wavelengths Using Ru(EtCp)2 and Oxygen

使用 Ru(EtCp)2 和氧气生长原子层沉积钌及其短波长光学性质

• DOI: 10.3390/coatings8110413
• 发表时间: 2018
• 期刊: Coatings
• 影响因子: 3.4
• 作者: R. Müller;L. Ghazaryan;P. Schenk;S. Wolleb;V. Beladiya;N. Kaiser;A. Tünnermann;A. Szeghalmi
• 通讯作者: A. Szeghalmi

Materials Pushing the Application Limits of Wire Grid Polarizers further into the Deep Ultraviolet Spectral Range

• DOI: 10.1002/adom.201600250
• 发表时间: 2016-11-01
• 期刊: ADVANCED OPTICAL MATERIALS
• 影响因子: 9
• 作者: Siefke, Thomas;Kroker, Stefanie;Tuennermann, Andreas
• 通讯作者: Tuennermann, Andreas

On the Properties of Nanoporous SiO2 Films for Single Layer Antireflection Coating

• DOI: 10.1002/adem.201801229
• 发表时间: 2019-06-01
• 期刊: ADVANCED ENGINEERING MATERIALS
• 影响因子: 3.6
• 作者: Ghazaryan, Lilit;Sekman, Yusuf;Szeghalmi, Adriana
• 通讯作者: Szeghalmi, Adriana

Antireflection Coatings for Strongly Curved Glass Lenses by Atomic Layer Deposition

• DOI: 10.3390/coatings7080118
• 发表时间: 2017-08-01
• 期刊: COATINGS
• 影响因子: 3.4
• 作者: Pfeiffer，Kristin;Schulz，Ulrike;Szeghalmi，Adriana
• 通讯作者: Szeghalmi，Adriana

Antireflection Coating on PMMA Substrates by Atomic Layer Deposition

• DOI: 10.3390/coatings10010064
• 发表时间: 2020-01-01
• 期刊: COATINGS
• 影响因子: 3.4
• 作者: Paul, Pallabi;Pfeiffer, Kristin;Szeghalmi, Adriana
• 通讯作者: Szeghalmi, Adriana