NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems

NEMS/MEMS 和纳米材料增强型无源元件与先进纳米 CMOS 兼容,适用于未来单芯片可调谐射频系统

基本信息

项目摘要

The main goal of this project is to develop key technologies for future one-chip tunable RF components, which will be used in future mobile wireless communication tools. The key technologies include NEMS/MEMS for tunable functions, nanomaterial-enhanced passive components in novel LTCC substrates and their wafer-level integration technology with advanced nano-CMOS.
该项目的主要目标是开发未来单片可调谐射频组件的关键技术,这些组件将用于未来的移动无线通信工具。关键技术包括用于可调谐功能的NEMS/MEMS,新型LTCC衬底的纳米材料增强无源元件及其与先进纳米cmos的晶圆级集成技术。

项目成果

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