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NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems

NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems
NEMS/MEMS 和纳米材料增强型无源元件与先进纳米 CMOS 兼容，适用于未来单芯片可调谐射频系统
批准号：
151246004
负责人：
Professor Dr. Thomas Geßner (†)
金额：
$0.0万
依托单位：
Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2009
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2008-12-31 至 2012-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/151246004?language=en
关键词：
NEMSMEMSNanomaterialenhancedPassive

项目摘要

项目成果

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The main goal of this project is to develop key technologies for future one-chip tunable RF components, which will be used in future mobile wireless communication tools. The key technologies include NEMS/MEMS for tunable functions, nanomaterial-enhanced passive components in novel LTCC substrates and their wafer-level integration technology with advanced nano-CMOS.
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会议论文
Modellierung von Nanodevices
  • 批准号：
    195215915
  • 项目类别：
    Research Units
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    Professor Dr. Thomas Geßner (†)
  • 依托单位：
    Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika
  • 批准号：
    5433749
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    Professor Dr. Thomas Geßner (†)
  • 依托单位：
    Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik
  • 批准号：
    5345999
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Professor Dr. Thomas Geßner (†)
  • 依托单位：
    Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
国内基金
海外基金
导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
  • 批准号：
    2026JJ50499
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    樊波
  • 依托单位：
    南华大学
基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    王捍兵
  • 依托单位：
    常州机电职业技术学院
面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
  • 批准号：
    JCZRQNB202600477
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    湖北光谷实验室
用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    蔡先法
  • 依托单位：
    南京邮电大学