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Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik

Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik
多孔聚合物作为微电子金属化系统的低 k 电介质
批准号：
5345999
负责人：
Professor Dr. Thomas Geßner (†)
金额：
$0.0万
依托单位：
Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2002
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2001-12-31 至 2006-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5345999?language=en
关键词：
PorsePolymerealslow

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Modellierung von Nanodevices
  • 批准号：
    195215915
  • 项目类别：
    Research Units
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    Professor Dr. Thomas Geßner (†)
  • 依托单位：
    Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems
  • 批准号：
    151246004
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    Professor Dr. Thomas Geßner (†)
  • 依托单位：
    Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika
  • 批准号：
    5433749
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    Professor Dr. Thomas Geßner (†)
  • 依托单位：
    Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
国内基金
海外基金
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  • 批准号：
    2026JJ90084
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
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  • 依托单位：
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  • 批准号：
    2026JJ81772
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    童琴
  • 依托单位：
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  • 批准号：
    2026JJ50115
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
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  • 依托单位：
    中南大学
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  • 批准号：
    JCZRQNB202600686
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    武汉纺织大学