Werkstoff- und Technologieentwicklung zur Herstellung von Komponenten für die Mikrosystemtechnik mit nanostrukturertem Gefüge

Um das Potential neuer nanostrukturierter Werkstoffe für die Mikrosystemtechnik nutzen zu können，bedarf es der ganzheitlichen Entwicklung des Werkstoffdesigns und der Herstellungtechnologie. Hierzu sind einerseits das molekulare Design der präkeramischen Vorstufe im Hinblick auf die geforderten Bauteileigenschaften and dererseits der Formgebungsprozess zu erforschen.这是一个大规模生产的韦尔登，因为在成型过程中的零件的最终几何形状也是其制造工艺的一部分。通过激光束的形成，可以看到在前体中的组件在运动控制合成中的激活作用。在这里，我们将使用一种通用的激光器来实现能量转换模块韦尔登，并将所需的部件本身作为用于其他合成器的催化剂。随着艺术和艺术的发展，在具有更高的自由度的建筑中，在更高的温度下，建筑的基本结构也不会变硬，因此韦尔登的自由度也会变大。

Um das Potential neuer nanostrukturierter Werkstoffe für die Mikrosystemtechnik nutzen zu können, bedarf es der ganzheitlichen Entwicklung des Werkstoffdesigns und der Herstellungstechnologie. Hierzu sind einerseits das molekulare Design der präkeramischen Vorstufe im Hinblick auf die geforderten Bauteileigenschaften und andererseits der Formgebungsprozess zu erforschen. Hierbei soll einer möglichen Massenproduktion dadurch Rechnung getragen werden, dass die Bauteile im Formgebungsprozess sowohl ihre Endgeometrie als auch ihre Gebrauchseigenschaften erhalten. Zur Formgebung ist vorgesehen, mit mehreren Laserstrahlen, in deren Kreuzungspunkt die Aktivierungsenergie für eine kinetisch kontrollierte Synthese überschritten wird, das Bauteil in den Precursor zu ¿schreiben . Hierbei wird zum einen ausgenutzt, dass durch einen gepulsten Laser die Energiezufuhr zeitlich moduliert werden kann, und die entstehende Bauteiloberfläche selber wieder als Katalysator für die weitere Synthese wirkt. Auf diese Art und Weise können dann Bauteile mit beliebigen Freiformflächen höchster Genauigkeit, die auf Grund des dichten Gefüges im Betrieb auch bei erhöhter Temperatur nicht schrumpfen, eigenspannungsfrei hergestellt werden.