Technologische Weiterentwicklung eines Großkammer-Rasterelektronenmikroskopes zur in situ-Charakterisierung großer Bauteile und Werkzeuge

用于大型部件和工具原位表征的大型室扫描电子显微镜的技术进一步开发

• 批准号: 163323790
• 负责人: Professor Dr. Joachim Mayer
• 金额: --
• 依托单位: Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie (GFE)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Instrumentation Initiatives
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2014-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/163323790?language=en
• 关键词: Technologische; Weiterentwicklung; eines; Gro; kammer

Das GK-REM am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie wurde im Rahmen der gleichnamigen Großgeräteinitiative der DFG beschafft. Es handelt sich um einen Prototyp. Die volle Funktionsfähigkeit und Betriebssicherheit des GK-REM wurde nicht erreicht, da diese Komponenten nicht gängigen Industriestandards entsprechen und die Integration nur unzureichend erfolgte.Im Bereich der Vakuumtechnologie und der Detektoren haben in den letzten Jahren entscheidende Weiterentwicklungen stattgefunden, welche die Einsatzmöglichkeiten und die Leistungsfähigkeit der Geräte in allen Nutzungsbereichen entscheidend verbessern würden. Die Arbeitsgemeinschaft der GK-REM-Nutzer hat Gerätemodifikationen zur Weiterentwicklung der Geräte erarbeitet.

Das GK-REM am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie wurde im Rahmen der gleichnamigen Großgeräteinitiative der DFG beschafft.这是一个原型。GK-REM的功能和性能测试并不完全正确，这些组件并没有形成工业标准，集成也不完全正确。在近几年的时间里，真空技术和检测技术已经开始发展，而在整个努尔verbessern würden中，Einsatzmöglichkeiten和Geräte的Leistungsfähigkeit也在不断发展。GK-REM-Nutzer的工作团队对Geräte进行了改进，以实现Geräte的Weiterentwicklung。