Technologische Weiterentwicklung eines Großkammer-Rasterelektronenmikroskopes zur in situ-Charakterisierung großer Bauteile und Werkzeuge

用于大型部件和工具原位表征的大型室扫描电子显微镜的技术进一步开发

基本信息

项目摘要

Das GK-REM am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie wurde im Rahmen der gleichnamigen Großgeräteinitiative der DFG beschafft. Es handelt sich um einen Prototyp. Die volle Funktionsfähigkeit und Betriebssicherheit des GK-REM wurde nicht erreicht, da diese Komponenten nicht gängigen Industriestandards entsprechen und die Integration nur unzureichend erfolgte.Im Bereich der Vakuumtechnologie und der Detektoren haben in den letzten Jahren entscheidende Weiterentwicklungen stattgefunden, welche die Einsatzmöglichkeiten und die Leistungsfähigkeit der Geräte in allen Nutzungsbereichen entscheidend verbessern würden. Die Arbeitsgemeinschaft der GK-REM-Nutzer hat Gerätemodifikationen zur Weiterentwicklung der Geräte erarbeitet.
Das GK-REM am Gomeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie wurde im Rahmen der Gleichnamigen GroçgeräteInitiative der DFG Beschafft.这是一个手提包的原型。所有的功能都是这样的,工业标准是这样的,工业标准也是这样,集成也不会结束。我是一个很好的技术学和检验者,他的数据是这样的:这是一个非常重要的问题。GK-REM-Nutzer Hat Gerätemodifikationen Zur Weiterentwickung der Geräte erarbeitet.

项目成果

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