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Ausbreitung von Mikroplasmen in porösen Werkstoffen

微等离子体在多孔材料中的扩散

基本信息

批准号：
163731959
负责人：
Professor Dr.-Ing. Michael Kurrat
金额：
--
依托单位：
Institut für Hochspannungstechnik und Energiesysteme - elenia
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2010
资助国家：
德国
起止时间：
2009-12-31 至 2013-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/163731959?language=en
关键词：
Ausbreitung von Mikroplasmen por sen

项目摘要

Atmosphärendruckplasmen bieten als so genannte Mikroplasmen für die Modifizierung und Beschichtung von inneren Oberflächen in Mikrostrukturen ein großes Potenzial. Die Qualität, Effizienz und Reproduzierbarkeit der meist empirisch entwickelten Plasmabehandlungsverfahren sind dagegen für praktische Anwendungen noch unzureichend. Das Ziel des beantragten Vorhabens ist, die grundlegenden Mechanismen für die Ausbreitung von Mikroplasmen in porösen Werkstoffen, als allgemeine Beispiele für Mikrostrukturen, zu untersuchen. Generell kommunizieren die Mikroplasmen über die elektrischen Felder der Raum- und Oberflächenladungen in den einzelnen Hohlräumen miteinander. Bei offenporigen Werkstoffen kommt der Ladungsträgertransport durch Drift oder Diffusion hinzu. Die Verwendung einfacher Modellanordnungen erlaubt die systematische Untersuchung der komplexen Plasmavorgänge in porösen Werkstoffen durch Aufnahmen mit einer Hochgeschwindigkeitskamera und Messungen der Entladungsströme. Ein 2D-FEM-Simulationsprogramm ermöglicht die erforderlichen Parameterstudien für das Verständnis der Ausbreitungsmechanismen. Aus den Ergebnissen werden allgemeine Aussagen zur Plasmabehandlung von porösen Werkstoffen und Mikrostrukturen abgeleitet.

Atmosphere ärendruckplasmen bieten als so genannte Mikroplasmen für die Modifizierung und Beschichtung von inneren Oberflächen in Mikrostrukturen ein großes Potenzial. Die Qualität，Effizienz und Reproduzierbarkeit der meist empirisch entwickelten Plasmabehandlungsverfahren sind dagegen für praktische Anwendungen noch unzureichend. Das Ziel des beantragten Vorhabens is，die grundabunden Mechanismen für die Ausbreitung von Mikroplasmen in porösen Werkstoffen，als allgemeine Beispiele für Mikrostrukturen，zu untersuchen.一般来说，微等离子体是由空间和上平面的电子流在一个环形空间中形成的。由于扩散或漂移，使材料的流动性受到影响。Die Verwendung einfacher Modellanordnungen erlaubt die systematische Untersuchung der komplexen Plasmavorgänge in porösen Werkstoffen durch Aufnahmen mit einer Hochgeschwindigkeitskamera und Messungen der Entladungsströme. Ein 2D-FEM-Simulationsprogramm ermöglicht die erforderlichen Parameter studien für das Verständnis der Ausbreitungsmechanismen.由工程师韦尔登负责对多孔材料和微结构进行等离子体处理。