Rasterelektronenmikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB-REM)

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„Wichtige Forschungsschwerpunkte der Arbeitsgruppe des Antragstellers sind die Entwicklung metallischer Hochleistungswerkstoffe sowie das Schmieden metallischer Halbzeuge in kleinsten Dimensionen (Nanoschmieden). Das hier beantragte Großgerät (FIB-REM) spielt in diesem Zusammenhang eine Schlüsselrolle. Es würde einerseits die dreidimensionale Materialrekonstruktion auf der Mikrostrukturskala ermöglichen und so Rückschlüsse zur Wechselwirkung zwischen Herstellprozess, Mikrostruktur und Eigenschaften ermöglichen, die unmittelbar in die Werkstoffentwicklung einfließen, mit Hilfe konventioneller Rasterelektronenmikroskopie aber nicht erschlossen werden können. Anderseits könnte im FIB-REM eine Nanoschmiedefabrik aufgebaut werden, in der mit Hilfe der zusätzlichen Funktionalität des Ionenstrahls die gesamte Prozesskette, einschließlich der Herstellung von Schmiedegesenken und der spanenden Endbearbeitung der Schmiedestücke, abgebildet werden könnte. Zusätzlich bietet das beantragte Gerät auch für die Arbeitsgruppe wichtige neue Möglichkeiten der Zielpräparation und dreidimensionalen Erfassung der bei der mechanischen Dämpfung wirksamen Defektstrukturen.“