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Hochgenaue 3D-Topografie von blanken und rauen Oberflächen

裸露和粗糙表面的高精度 3D 形貌

基本信息

批准号：
191312957
负责人：
Professor Dr.-Ing. Gerd Häusler
金额：
--
依托单位：
Lehrstuhl für Optik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2011
资助国家：
德国
起止时间：
2010-12-31 至 2013-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/191312957?language=en
关键词：
Hochgenaue 3D Topografie von blanken

项目摘要

Es wird ein Verfahren erforscht, mit dem die 3D-Topografie von blanken und rauen Oberflächen – auch stark gekrümmt – effizient und mit einer Genauigkeit deutlich besser als 1μm erfasst werden kann. Anwendungen sind: die mikroskopische Vermessung von strukturierten Wafern, MEMS und Mikro-Linsen. Hier erscheint eine Auflösung im Bereich weniger Nanometer möglich. Es lassen sich aber auch raue Oberflächen wie z.B. Werkzeugschneiden erfassen. Ein Aufbau für mikroskopische Objekte aber auch für makroskopische Objekte (Asphärenprüfung) ist geplant. Das Verfahren basiert auf „Mikroskopie mit strukturierter Beleuchtung― (SIM). Prinzip: Auf die Objektoberfläche wird ein Gitter mit hoher Apertur projiziert. Die Oberfläche wird – ebenfalls mit hoher Apertur – beobachtet. Durch Auswertung des lokalen Gitterkontrastes erhält man ein Schnittbild ähnlich wie bei der konfokalen Mikroskopie und durch Abtasten entlang der optischen Achse die 3D-Topo-grafie. Ziele des Projektes sind: 1. die Erforschung der physikalischen Grenzen des Verfahrens. 2. die Erforschung einer schnellen Auswertemethode, die eine Abtastung ohne stop-und-go ermöglicht und mit möglichst wenigen Abtastschritten auskommt. 3. Erforschung von Anwendungen. Die hohe Tiefenauflösung, die sehr große Schärfentiefe und der große erfassbare Neigungsbereich machen (quantitative) Bilder möglich, wie man sie vom Rasterelektronenmikroskop kennt.

这将是一项非常成功的研究，利用3D地形图进行消隐和增强，也非常有效，并且可以在1μm内快速韦尔登成像。Anwendungen sind：die mikroskopische Vermessung von strukturierten Wafern、MEMS和Mikro-Linsen。这里有一个小的纳米级的发光体。它也像z.B.一样在空中盘旋。工作效率Ein Aufbau für mikroskopische Objekte aber auch für makroskopische Objekte（Asphärenprüfung）ist geplant. Das Verfahren basiert auf“Mikroskopie mit strukturierter Beleuchtung―（SIM）.原理：在物体的表面上，会有一个带有更大投影的Gitter。上面的地板会被更厚的地板覆盖.局部Gittercontrastes的辅助测量可以在三维拓扑图中通过光学处理获得类似于Mikroskopie的Schnittbild。Ziele des Projektes sind：1.这是一项关于车辆物理性能的研究。2.该研究采用了一种简单的Auswertemethode，一种停止和前进的Abtastung，并具有更好的Abtastschritten auskommt。3.由Anwendungen进行研究。在最高层，最大的Schärfentiefe和最大的Neigungsbereich machen（定量）Bilder möglich，wie man sie vom Rastektronenmikroskop kennt。