Hochgenaue 3D-Topografie von blanken und rauen Oberflächen

这是在Verfahren erforscht，麻省理工学院DEM模具3D-Topografie von Blanken和Rauen Oberflächen-auch Start Gekrümmt-效率和MIT einer Genauigkeit deutlich besser ALS 1μm erFasst Well den kann。Anwendungen Sind：de mikroskopische VerMessung von Strukturierten Wafern，MEMS and Mikro-Linsen。这里是贝里奇·维尼格的纳米世界。您的位置：我也知道>教育/科学>教育/职业教育>。Ein Aufbau für mikroskopische Objekte(Ein Aufbau für mikroskopische Objekte aber auch für makroskopische Objekte(ASPHärenprüFung))是一种地质植物。他说：“这是一件很重要的事情。普林齐普：再也不会有什么事情发生了。他说：“这是一件非常有趣的事情。从施尼特比尔德汉利希和他的工作人员那里得到了最好的3D-图形。这句话的意思是：1.从物理上看，凡尔法伦斯人的生活都是如此。2.这是一个很重要的问题，因为这是一个很重要的问题，因为它是一个很好的解决方案。3.Erforschung von Anwendungen。他说：“我不知道你的名字是什么意思，我的名字是什么？”

Es wird ein Verfahren erforscht, mit dem die 3D-Topografie von blanken und rauen Oberflächen – auch stark gekrümmt – effizient und mit einer Genauigkeit deutlich besser als 1μm erfasst werden kann. Anwendungen sind: die mikroskopische Vermessung von strukturierten Wafern, MEMS und Mikro-Linsen. Hier erscheint eine Auflösung im Bereich weniger Nanometer möglich. Es lassen sich aber auch raue Oberflächen wie z.B. Werkzeugschneiden erfassen. Ein Aufbau für mikroskopische Objekte aber auch für makroskopische Objekte (Asphärenprüfung) ist geplant. Das Verfahren basiert auf „Mikroskopie mit strukturierter Beleuchtung― (SIM). Prinzip: Auf die Objektoberfläche wird ein Gitter mit hoher Apertur projiziert. Die Oberfläche wird – ebenfalls mit hoher Apertur – beobachtet. Durch Auswertung des lokalen Gitterkontrastes erhält man ein Schnittbild ähnlich wie bei der konfokalen Mikroskopie und durch Abtasten entlang der optischen Achse die 3D-Topo-grafie. Ziele des Projektes sind: 1. die Erforschung der physikalischen Grenzen des Verfahrens. 2. die Erforschung einer schnellen Auswertemethode, die eine Abtastung ohne stop-und-go ermöglicht und mit möglichst wenigen Abtastschritten auskommt. 3. Erforschung von Anwendungen. Die hohe Tiefenauflösung, die sehr große Schärfentiefe und der große erfassbare Neigungsbereich machen (quantitative) Bilder möglich, wie man sie vom Rasterelektronenmikroskop kennt.