Nanoimprint-Lithographiesystem

“Das beantragte Nanoimprint-Lithographiesbildet das Herzstück eines Nanostrukturierungsla-bors，das im Rahmen eines neuen Forschungsschwerpunktes”Optofluik und Integrierte Nanophoto-nik”an der Hochschule Karlsruhe eingerichtet韦尔登soll.纳米压印系统是一种新型的微结构和纳米结构的压印系统。Die nanostrukturierten Substrate stellen eine Plattform für nahezu alle unsere Forschungsprojekte in den Bereichen Optofluik，Nanophotonik，und biomedizinische Sensorik dar.在卡尔斯鲁厄大学，没有任何关于教育的问题。Die Anschaffung des Gerätes ist ein essentieller Teil für die Realisierung des neuen Forschungsschwerpunktes.因此，纳米压印-光刻技术已被广泛应用。“

„Das beantragte Nanoimprint-Lithographiesystem bildet das Herzstück eines Nanostrukturierungsla-bors, das im Rahmen eines neuen Forschungsschwerpunktes „Optofluidik und Integrierte Nanophoto-nik“ an der Hochschule Karlsruhe eingerichtet werden soll. Das Nanoimprint-System ist für die Her-stellung von Mikro- und Nanostrukturen in verschiedensten Substratmaterialien dringend notwendig. Die nanostrukturierten Substrate stellen eine Plattform für nahezu alle unsere Forschungsprojekte in den Bereichen Optofluidik, Nanophotonik, und biomedizinische Sensorik dar. An der Hochschule Karlsruhe steht keine vergleichbare Geräteausstattung zur Verfügung. Die Anschaffung des Gerätes ist ein essentieller Teil für die Realisierung des neuen Forschungsschwerpunktes. Hierfür ist das be-antragte Nanoimprint-Lithographiesystem zwingend notwendig.“