Plasma-Enhanced-CVD-Anlage kombiniert mit 3D Laser Lithographiesystem

等离子体增强CVD系统与3D激光光刻系统相结合

• 批准号: 231996899
• 金额: --
• 依托单位: Universität Münster
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2012-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/231996899?language=en
• 关键词: Plasma; Enhanced; CVD; Anlage; kombiniert

„Nanostrukturen und nanostrukturierte Oberflächen sind von großem Interesse in der Mikroelektronik, zunehmend aber auch in elektrochemischen oder optischen Systemen wie Feststoffbatterien, Brennstoffzellen oder Gassensoren, photonischen Kristallen. Je nach Anwendung sind ‚finite-size‘ Effekte, nano-mechanische Eigenschaften, das große Verhältnis von Oberfläche zu Volumen oder beugende Strukturen auf der Längenskala von einigen 10 bis einigen 100 nm entscheidend für die Funktion. Zudem erlauben Nanostrukturen eine direkt Untersuchung mit Hilfe der Atomsonden-Tomographie und der Transmissionselektronenmikroskopie, und damit das Studium grundlegender Fragestellungen auf atomarer Ebene. Der Fachbereich Physik in Münster ist im Hinblick auf Festkörperanalytik sehr gut ausgestattet, hat aber bisher nur eine geringe Infrastruktur um Festkörper-Nanostrukturen im Bottom-Up Prozess herzustellen. Um diese Lücke zu schließen, soll eine Anlage beschafft werden, mit der aus der Gasphase in effektiver Weise Nanostrukturen (dünne Schichtfolgen, Nanodrähte, Quantenpunkte) gewachsen (PECVD Prozess) und zusätzlich über optische Lithographie (Laserlithographie) in Kombination mit einem Trockenätz-Prozess (RIE) nanostrukturierte Oberflächen und sogar dreidimensionale Strukturen hergestellt werden können.“

“Nanostrukturen und nanostrukturierte Oberflächen sind von großem Interesse in der Mikroelektronik，zunehmend aber auch in elektrochemischen oder optischen Systemen wie Feststoffbatterien，Brennstoffzellen oder Gassensoren，photonischen Kristallen. Je nach Anwendung sind“finite-size”Effekte，nano-mechanische Eigenschaften，das große Verhältnis von Oberfläche zu Volumen oder beugende Strukturen auf der Längenskala von einigen 10 bis einigen 100 nm entscheidend für die Funktion.随后，纳米结构的建立直接依赖于原子断层扫描和透射电子显微镜的帮助，并将研究结果与原子碎片相结合。Der Fachbereich Physik in Münster ist im Hinblick auf Festkörperanalytik sehr gut ausgestattet，hat aber bisher努尔eine geringe fracturektur um Festkörper-Nanostrukturen im Bottom-Up Prozess herzustellen.这种激光器的特点是，通过有效的气相纳米结构（如Schichtfolgen、Nanodrähte、Quantenpunkte）加工（PECVD工艺），使纳米结构在表面上形成韦尔登，并使三维结构在表面上形成韦尔登。“