Influence of inner shell electron on material processing by soft X-ray free electron laser

内层电子对软X射线自由电子激光材料加工的影响

• 批准号: 20K12494
• 负责人: Sakaue Kazuyuki
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2020
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2020-04-01 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K12494/
• 关键词: 軟X線レーザー; レーザー加工; 光・物質相互作用; 極端紫外レーザー; 自由電子レーザー; 内殻電子

项目成果

Independent contribution of optical attenuation length in ultrafast laser-induced structural change

光衰减长度对超快激光引起的结构变化的独立贡献

• DOI: 10.1364/oe.432130
• 发表时间: 2021
• 期刊: Optics Express, pp. 33121-33133 (2021.9).
• 作者: Tatsunori Shibuya;Kazuyuki Sakaue;Hiroshi Ogawa;Daisuke Satoh;Thanh-Hung Dinh;Masahiko Ishino;Masahito Tanaka;Masakazu Washio;Takeshi Higashiguchi;Masaharu Nishikino;Akira Kon;Yuya Kubota;Yuichi Inubushi;Shigeki Owada;Yohei Kobayashi;and Ry
• 通讯作者: and Ry

Ablation threshold and crater morphology of amorphous and crystalline SiO2 glass for extreme ultraviolet femtosecond pulses

极紫外飞秒脉冲非晶态和晶态 SiO2 玻璃的烧蚀阈值和火山口形貌

• DOI: 10.35848/1347-4065/abc85a
• 发表时间: 2020
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: Shibuya T.;Sakaue K.;Ogawa H.;Dinh T.-H.;Satoh D.;Terasawa E.;Washio M.;Tanaka M.;Higashiguchi T.;Ishino M.;Kubota Y.;Inubushi Y.;Owada S.;Nishikino M.;Kobayashi Y.;Kuroda R.
• 通讯作者: Kuroda R.

Surface processing of PMMA and metal nano-particle resist by sub-micrometer focusing of coherent extreme ultraviolet high-order harmonics pulses

通过亚微米聚焦相干极紫外高次谐波脉冲对 PMMA 和金属纳米粒子抗蚀剂进行表面处理

• DOI: 10.1364/ol.392695
• 发表时间: 2020
• 期刊: Optics Letters
• 影响因子: 3.6
• 作者: Sakaue Kazuyuki;Motoyama Hiroto;Hayashi Ryosuke;Iwasaki Atsushi;Mimura Hidekazu;Yamanouchi Kaoru;Shibuya Tatsunori;Ishino Masahiko;Dinh Thanh-Hung;Ogawa Hiroshi;Higashiguchi Takeshi;Nishikino Masaharu;Kuroda Ryunosuke
• 通讯作者: Kuroda Ryunosuke