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Study of dynamical extreme ultraviolet radiation driven material interactions

动态极紫外辐射驱动的材料相互作用研究

基本信息

批准号：
20K03893
负责人：
Tanaka Nozomi
金额：
$ 2.75万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（12）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

露光装置及び汚染除去装置

曝光设备及净化设备

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

Comprehensive measurements of hydrogen radicals in hydrogen plasma induced by intense extreme ultraviolet radiation

强极紫外辐射诱导氢等离子体中氢自由基的综合测量

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
N. Tanaka;B. Zhu;C. Liu;Y. Wang;K. Nishihara;S. Fujioka;Kyung Sik Kang;Youngduk Suh;Jeong-Gil Kim;K. Ozawa;M. Kubo
通讯作者：
M. Kubo

Optical Emission Spectroscopy (OES) measurement of EUV-induced plasma parameters in hydrogen

氢中 EUV 诱导等离子体参数的光学发射光谱 (OES) 测量

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Chang Liu;Nozomi Tanaka;Baojun Zhu;Katsunobu Nishihara;Shinsuke Fujioka;Kyung Sik Kang;Youngduk Suh;Jeong-Gil Kim;Ken Ozawa;Minoru Kubo
通讯作者：
Minoru Kubo

Comparison of focusing optics for extreme vacuum ultraviolet and vacuum ultraviolet emission from laser produced plasma

激光产生等离子体的极真空紫外和真空紫外发射聚焦光学器件的比较

DOI：
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
0
作者：
Nozomi Tanaka;Yubo Wang;Katsunobu Nishihara;Shinsuke Fujioka;Atsushi Sunahara;Tomoyuki Johzaki;Kyung Sik Kang;Youngduk Suh;Jeong-Gil Kim;Shinji Ueyama;Ken Ozawa
通讯作者：
Ken Ozawa

Actively controlled radical production in a photo-ionized hydrogen plasma for tin contamination cleaning

主动控制光离子化氢等离子体中自由基的产生，用于清洁锡污染物

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
N. Tanaka;Y. Wang;K. Nishihara;S. Fujioka;A. Sunahara;T. Johzaki;Kyung Sik Kang;Youngduk Suh;Jeong-Gil Kim;S. Ueyama;K. Ozawa
通讯作者：
K. Ozawa

DOI：
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作者：
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Tanaka Nozomi其他文献

An experimental reassessment of complex NP islands with NP-scrambling in Japanese

日语中使用 NP 扰乱对复杂 NP 岛屿进行的实验重新评估

DOI：
10.16995/glossa.5737
发表时间：
2022
期刊：
Glossa: a journal of general linguistics
影响因子：
0
作者：
Fukuda Shin;Tanaka Nozomi;Ono Hajime;Sprouse Jon
通讯作者：
Sprouse Jon

子どもの発達評価は保護者と保育者で異なるか？－子どもの気質・行動，言語発達に着目して

父母和保育员对儿童发展的评估是否不同？

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Fujii Katsunori;Tanaka Nozomi;Takeyama Yuki;Ishigaki Tohru;菊地一晴;前田正子;Fujii Katsunori;菊地一晴
通讯作者：
菊地一晴

教育・保育施設における事故報告制度と事故検証制度の導入とその課題について（第７回）

教育和保育设施中的事故报告系统和事故验证系统的介绍及其挑战（第7次会议）

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
保育界
影响因子：
0
作者：
Fujii Katsunori;Tanaka Nozomi;Takeyama Yuki;Ishigaki Tohru;菊地一晴;前田正子;Fujii Katsunori;菊地一晴;前田正子
通讯作者：
前田正子

間質性肺炎： AI診断の現状と未来

间质性肺炎：AI诊断的现状与未来

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Korogi Yohei;Tanaka Nozomi;Yoshifuji Hajime;Tazaki Junichi;Kubo Takeshi;Tanizawa Kiminobu;谷澤公伸
通讯作者：
谷澤公伸

Verification of Changes in Body Proportions in Humans

人体比例变化的验证

DOI：
10.14738/aivp.96.11345
发表时间：
2021
期刊：
European Journal of Applied Science
影响因子：
0
作者：
Fujii Katsunori;Tanaka Nozomi;Takeyama Yuki;Ishigaki Tohru;菊地一晴;前田正子;Fujii Katsunori
通讯作者：
Fujii Katsunori