课题基金 / 基金详情

Study of dynamical extreme ultraviolet radiation driven material interactions

Study of dynamical extreme ultraviolet radiation driven material interactions
动态极紫外辐射驱动的材料相互作用研究
批准号：
20K03893
负责人：
Tanaka Nozomi
金额：
$2.75万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K03893/
关键词：
極端紫外(EUV)光光電離プラズマ物質アブレーション分光計測可視分光計測光電離EUV分光極端紫外光アブレーションプラズマ軟X線分光

项目摘要

项目成果

Tanaka Nozomi的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(12)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
露光装置及び汚染除去装置
曝光设备及净化设备
DOI： --
发表时间： 2022
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Comprehensive measurements of hydrogen radicals in hydrogen plasma induced by intense extreme ultraviolet radiation
强极紫外辐射诱导氢等离子体中氢自由基的综合测量
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [N. Tanaka, B. Zhu, C. Liu, Y. Wang, K. Nishihara, S. Fujioka, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, K. Ozawa, M. Kubo]
通讯作者： M. Kubo
Optical Emission Spectroscopy (OES) measurement of EUV-induced plasma parameters in hydrogen
氢中 EUV 诱导等离子体参数的光学发射光谱 (OES) 测量
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Chang Liu, Nozomi Tanaka, Baojun Zhu, Katsunobu Nishihara, Shinsuke Fujioka, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, Ken Ozawa, Minoru Kubo]
通讯作者： Minoru Kubo
Comparison of focusing optics for extreme vacuum ultraviolet and vacuum ultraviolet emission from laser produced plasma
激光产生等离子体的极真空紫外和真空紫外发射聚焦光学器件的比较
DOI： --
发表时间： 2023
期刊：
影响因子： --
作者： [Nozomi Tanaka, Yubo Wang, Katsunobu Nishihara, Shinsuke Fujioka, Atsushi Sunahara, Tomoyuki Johzaki, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, Shinji Ueyama, Ken Ozawa]
通讯作者： Ken Ozawa
共 11 条
    Processing of wide-bandgap material with intense EUV light
    • 批准号：
      17K05727
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Tanaka Nozomi
    • 依托单位：
      Osaka University
    Study of plasma properties of EUV material ablation by particle diagnostics
    • 批准号：
      25800303
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      Tanaka Nozomi
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金