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Study of plasma properties of EUV material ablation by particle diagnostics

Study of plasma properties of EUV material ablation by particle diagnostics
通过粒子诊断研究 EUV 材料烧蚀的等离子体特性
批准号：
25800303
负责人：
Tanaka Nozomi
金额：
$2.66万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25800303/
关键词：
極端紫外(EUV)光物質アブレーションプラズマ膨張粒子計測物質加熱極端紫外光光電離極端紫外(EUV)光アブレーション光量子ビーム応用プラズマ加熱プラズマ診断極端紫外光アブレーション

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レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオン膨張に関する研究
激光驱动 EUV 光烧蚀材料过程中离子膨胀的研究
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [出口亮, 田中のぞみ, 増田将也, 砂原淳, 余語覚文, 西村博明]
通讯作者： 西村博明
Spectroscopic observation of ablation plasma generated with a laser-driven extreme light source
激光驱动极端光源产生的烧蚀等离子体的光谱观察
DOI： 10.1007/s00340-015-6041-0
发表时间： 2015
期刊： Applied Physics B: Lasers and Optics
影响因子： --
作者： [M. Masuda, N. Tanaka, K. Hane, A. Sunahara, S. Fujioka, and H, Nishimura]
通讯作者： Nishimura
Spectroscopic measurements of ablation plasma generated with laser-driven intense extreme ultraviolet (EUV) light
对激光驱动的强极紫外 (EUV) 光产生的烧蚀等离子体进行光谱测量
DOI： 10.1088/1742-6596/688/1/012122
发表时间： 2016
期刊： Journal of Physics: Conference Series
影响因子： --
作者： [N. Tanaka, K. Hane, H. Shikata, M. Masuda, K. Nagatomi, A. Sunahara, M. Yoshida, S. Fujioka, and H. Nishimura]
通讯作者： and H. Nishimura
Ion expansion from extreme ultraviolet (EUV) and laser ablation plasmas
极紫外 (EUV) 和激光烧蚀等离子体的离子膨胀
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [N. Tanaka, M. Masuda, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, H. Nishimura]
通讯作者： H. Nishimura
共 11 条
    Study of dynamical extreme ultraviolet radiation driven material interactions
    • 批准号：
      20K03893
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Tanaka Nozomi
    • 依托单位：
      Osaka University
    Processing of wide-bandgap material with intense EUV light
    • 批准号：
      17K05727
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Tanaka Nozomi
    • 依托单位：
      Osaka University