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超音速分子線照射による遷移金属材料に対する原子層エッチング表面反応機構の解明

超音速分子線照射による遷移金属材料に対する原子層エッチング表面反応機構の解明
超声分子束辐照阐明过渡金属材料原子层刻蚀表面反应机理
批准号：
24K08246
负责人：
伊藤 智子
金额：
$2.83万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2027-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24K08246/
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  • 批准号：
    21K03522
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.66万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    伊藤 智子
  • 依托单位：
    Osaka University
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  • 批准号：
    20K16861
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 资助金额：
    $2.75万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    伊藤 智子
  • 依托单位：
    Tokyo Medical University
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