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超音速分子線照射による遷移金属材料に対する原子層エッチング表面反応機構の解明
超声分子束辐照阐明过渡金属材料原子层刻蚀表面反应机理
基本信息
- 批准号：24K08246
- 负责人：
- 金额：$ 2.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2024
- 资助国家：日本
- 起止时间：2024-04-01 至 2027-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
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会议论文数量（0）
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理事会决定 2008/633/JHA [参考译文]
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- 影响因子：0
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- 发表时间：
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- 作者：
小山 義之;伊藤 智子;善本 隆之;溝口 出 - 通讯作者：
溝口 出
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