Measurement and control of internal stress in thin film metallic glass using combinatorial technology
利用组合技术测量和控制薄膜金属玻璃的内应力
基本信息
- 批准号:19H02040
- 负责人:
- 金额:$ 11.15万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份:2019
- 资助国家:日本
- 起止时间:2019-04-01 至 2023-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(41)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
MEMS構造体を利用した薄膜内部応力の測定
使用 MEMS 结构测量薄膜中的内应力
- DOI:
- 发表时间:2021
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Steven R S;Colin O;Lewys J;Amanda P;Sergei V.;K;Matthew J. O;Rafal E. D;Norman S;Khalid H;Wei-Chang D. Y;Renu S;Yingge D;Ann C;Haimei Z;Edgar C. B;Libor K;R. L P;Dongsheng L;Xin Z;Mitsuhiro M;and Mitra L. T;佐藤 寛太,山崎 貴大,岡 智絵美,秦 誠一,櫻井 淳平;高瀬 駿,山崎 貴大,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一
- 通讯作者:高瀬 駿,山崎 貴大,岡 智絵美,櫻井 淳平,秦 誠一
Effect of tactile pin height on driving characteristics using high formable shape-memory alloy for reaction force variable tactile displays
触觉销高度对使用高可成形形状记忆合金用于反作用力可变触觉显示器的驱动特性的影响
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Masanori Murase;Keita Nambara;Chiemi Oka;Seiichi Hata;Junpei Sakurai
- 通讯作者:Junpei Sakurai
Combinatorial search and evaluation for new Ti?Ni?Hf high formable shape memory alloys
新型Ti?Ni?Hf高成形形状记忆合金的组合搜索与评价
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Yishu Wang;Shin Inoue;Chiemi Oka;Seiichi Hata;Junpei Sakurai
- 通讯作者:Junpei Sakurai
MEMSに向けたNi-Nb-Zr薄膜非晶質合金製ダイアフラムの内部応力制御
MEMS用Ni-Nb-Zr薄膜非晶合金隔膜的内应力控制
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Miki Takao;Yamada Takayuki;Tamotsu MURAKAMI;謝靖蘭,羽賀冬樹,山崎貴大,岡智絵美,秦誠一,櫻井淳平
- 通讯作者:謝靖蘭,羽賀冬樹,山崎貴大,岡智絵美,秦誠一,櫻井淳平
Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding
- DOI:10.1016/j.precisioneng.2019.11.006
- 发表时间:2020-03
- 期刊:
- 影响因子:3.6
- 作者:R. Morisaki;Hirai Yuuki;C. Oka;M. Mizoshiri;T. Yamazaki;J. Sakurai;Takami Hirai;Tomonori Takahashi;H. Tsuji;S. Hata
- 通讯作者:R. Morisaki;Hirai Yuuki;C. Oka;M. Mizoshiri;T. Yamazaki;J. Sakurai;Takami Hirai;Tomonori Takahashi;H. Tsuji;S. Hata
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