Measurement and control of internal stress in thin film metallic glass using combinatorial technology

利用组合技术测量和控制薄膜金属玻璃的内应力

• 批准号: 19H02040
• 负责人: HATA SEIICHI
• 金额: $ 11.15万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2019
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2019-04-01 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19H02040/
• 关键词: 内部応力; 薄膜; コンビナトリアル技術; アニール; 薄膜金属ガラス

项目成果

MEMS構造体を利用した薄膜内部応力の測定

使用 MEMS 结构测量薄膜中的内应力

• 发表时间: 2021
• 作者: Steven R S;Colin O;Lewys J;Amanda P;Sergei V.;K;Matthew J. O;Rafal E. D;Norman S;Khalid H;Wei-Chang D. Y;Renu S;Yingge D;Ann C;Haimei Z;Edgar C. B;Libor K;R. L P;Dongsheng L;Xin Z;Mitsuhiro M;and Mitra L. T;佐藤 寛太，山崎 貴大，岡 智絵美，秦 誠一，櫻井 淳平;高瀬 駿，山崎 貴大，岡 智絵美，櫻井 淳平，秦 誠一
• 通讯作者: 高瀬 駿，山崎 貴大，岡 智絵美，櫻井 淳平，秦 誠一

Effect of tactile pin height on driving characteristics using high formable shape-memory alloy for reaction force variable tactile displays

触觉销高度对使用高可成形形状记忆合金用于反作用力可变触觉显示器的驱动特性的影响

• 发表时间: 2022
• 作者: Masanori Murase;Keita Nambara;Chiemi Oka;Seiichi Hata;Junpei Sakurai
• 通讯作者: Junpei Sakurai

Combinatorial search and evaluation for new Ti?Ni?Hf high formable shape memory alloys

新型Ti?Ni?Hf高成形形状记忆合金的组合搜索与评价

• 发表时间: 2022
• 作者: Yishu Wang;Shin Inoue;Chiemi Oka;Seiichi Hata;Junpei Sakurai
• 通讯作者: Junpei Sakurai

MEMSに向けたNi-Nb-Zr薄膜非晶質合金製ダイアフラムの内部応力制御

MEMS用Ni-Nb-Zr薄膜非晶合金隔膜的内应力控制

• 发表时间: 2022
• 作者: Miki Takao;Yamada Takayuki;Tamotsu MURAKAMI;謝靖蘭，羽賀冬樹，山崎貴大，岡智絵美，秦誠一，櫻井淳平
• 通讯作者: 謝靖蘭，羽賀冬樹，山崎貴大，岡智絵美，秦誠一，櫻井淳平

Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding

• DOI: 10.1016/j.precisioneng.2019.11.006
• 发表时间: 2020-03
• 期刊: Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
• 影响因子: 3.6
• 作者: R. Morisaki;Hirai Yuuki;C. Oka;M. Mizoshiri;T. Yamazaki;J. Sakurai;Takami Hirai;Tomonori Takahashi;H. Tsuji;S. Hata