权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

Research on ultra-high-speed UV nanoimprint using mixed condensable gas and droplet dispensing

使用混合可凝气体和液滴分配的超高速紫外纳米压印研究

基本信息

批准号：
19H02046
负责人：
Kenta Suzuki
金额：
$ 11.32万
依托单位：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（12）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Mold Design and Process for Application of Nanoimprint Lithography to Interconnections

纳米压印光刻应用于互连的模具设计和工艺

DOI：
10.5104/jiep.22.158
发表时间：
2019
期刊：
Journal of The Japan Institute of Electronics Packaging
影响因子：
0
作者：
尹成圓;鈴木健太;廣島洋
通讯作者：
廣島洋

Solubility Property of Condensable Gases of Trans-1-Chloro-3,3,3-Trifluoropropene and Trans-1,3,3,3-Tetrafluoropropene in UV Nanoimprint

反式1-氯-3,3,3-三氟丙烯和反式1,3,3,3-四氟丙烯可凝结气体在紫外纳米压印中的溶解特性

DOI：
10.2494/photopolymer.32.123
发表时间：
2019
期刊：
Journal of Photopolymer Science and Technology
影响因子：
0.8
作者：
Suzuki Kenta;Youn Sung-Won;Hiroshima Hiroshi
通讯作者：
Hiroshima Hiroshi

ウェハレベルナノインプリント技術の応用展開に向けた充填挙動の制御や大面積モールド作製に関する研究

大面积模具填充行为控制与制作研究，促进晶圆级纳米压印技术应用与发展

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
尹成圓;鈴木健太;廣島洋
通讯作者：
廣島洋

凝縮性ガス下でのナノインプリントにおけるモールド全域の樹脂の充填観察

观察可凝性气体下纳米压印过程中树脂在整个模具中的填充情况

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
鈴木健太;尹成圓
通讯作者：
尹成圓

Approach of fine resist filling technologies for UV-NIL at AIST

AIST 的 UV-NIL 精细抗蚀剂填充技术的研究

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
尹成圓;鈴木健太;廣島洋
通讯作者：
廣島洋

DOI：
{{ item.doi }}
发表时间：
{{ item.publish_year }}
期刊：
{{ item.journal_name }}
影响因子：
{{ item.factor }}
作者：
{{ item.authors }}
通讯作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

Kenta Suzuki其他文献

Flower constancy by pollinators drives ecological speciation of flowering plants

传粉者的花朵恒常性驱动开花植物的生态物种形成

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Gaku Takimoto;Kenta Suzuki;Gaku Takimoto
通讯作者：
Gaku Takimoto

Cu/Polyimide Multilayer Interconnections Fabricated by Nanoimprint at Every Lithography Process

在每个光刻工艺中通过纳米压印制造铜/聚酰亚胺多层互连

DOI：
10.2494/photopolymer.27.73
发表时间：
2014
期刊：
Journal of Photopolymer Science and Technology
影响因子：
0.8
作者：
Kenta Suzuki;S. Youn;Sang;H. Hiroshima;H. Takagi
通讯作者：
H. Takagi

MOVPE grouwth of AlNSb alloys

AlNSb 合金的 MOVPE 生长

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kenta Suzuki;Daisuke Komori;Hiroki Sasajima;Kaku Takarabe;Tetsuya Takeuchi;Motoaki Iwaya;Satoshi Kamiyama;Isamu Akasaki
通讯作者：
Isamu Akasaki

Influences of crystal orientations and grain boundary on crack propagation behaviour at room temperature in a polycrystalline Ni-base superalloy

晶体取向和晶界对多晶镍基高温合金室温裂纹扩展行为的影响

DOI：
10.1299/transjsme.17-00578
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Mana Higaki;M. Sakaguchi;M. Matsunami;H. Kaneko;Takanori Karato;Kenta Suzuki;H. Inoue
通讯作者：
H. Inoue