Research on ultra-high-speed UV nanoimprint using mixed condensable gas and droplet dispensing
Research on ultra-high-speed UV nanoimprint using mixed condensable gas and droplet dispensing
使用混合可凝气体和液滴分配的超高速紫外纳米压印研究
批准号：
19H02046
负责人：
Kenta Suzuki
金额：
$11.32万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
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Mold Design and Process for Application of Nanoimprint Lithography to Interconnections
纳米压印光刻应用于互连的模具设计和工艺
纳米压印光刻应用于互连的模具设计和工艺
DOI：
10.5104/jiep.22.158
发表时间：
2019
期刊：
Journal of The Japan Institute of Electronics Packaging
影响因子：
--
作者：
[尹 成圓, 鈴木 健太, 廣島 洋]
通讯作者：
廣島 洋
Solubility Property of Condensable Gases of Trans-1-Chloro-3,3,3-Trifluoropropene and Trans-1,3,3,3-Tetrafluoropropene in UV Nanoimprint
反式1-氯-3,3,3-三氟丙烯和反式1,3,3,3-四氟丙烯可凝结气体在紫外纳米压印中的溶解特性
反式1-氯-3,3,3-三氟丙烯和反式1,3,3,3-四氟丙烯可凝结气体在紫外纳米压印中的溶解特性
DOI：
10.2494/photopolymer.32.123
发表时间：
2019
期刊：
Journal of Photopolymer Science and Technology
影响因子：
0.8
作者：
[Suzuki Kenta, Youn Sung-Won, Hiroshima Hiroshi]
通讯作者：
Hiroshima Hiroshi
ウェハレベルナノインプリント技術の応用展開に向けた充填挙動の制御や大面積モールド作製に関する研究
大面积模具填充行为控制与制作研究，促进晶圆级纳米压印技术应用与发展
大面积模具填充行为控制与制作研究，促进晶圆级纳米压印技术应用与发展
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
[尹 成圓, 鈴木 健太, 廣島 洋]
通讯作者：
廣島 洋
凝縮性ガス下でのナノインプリントにおけるモールド全域の樹脂の充填観察
观察可凝性气体下纳米压印过程中树脂在整个模具中的填充情况
观察可凝性气体下纳米压印过程中树脂在整个模具中的填充情况
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[鈴木 健太, 尹 成圓]
通讯作者：
尹 成圓
Approach of fine resist filling technologies for UV-NIL at AIST
AIST 的 UV-NIL 精细抗蚀剂填充技术的研究
AIST 的 UV-NIL 精细抗蚀剂填充技术的研究
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[尹 成圓, 鈴木 健太, 廣島 洋]
通讯作者：
廣島 洋
共 11 条
Development of energy landscape based methods to detect early warnings of large compositional shifts in ecological communities
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批准号：20K06820
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.5万
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财政年份：2020
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负责人：Kenta Suzuki
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依托单位：
国内基金
海外基金
环的加性图与环的nil-clean性的几个公开问题的研究
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批准号：--
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项目类别：地区科学基金项目
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资助金额：29万元
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批准年份：2022
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负责人：苏华东
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依托单位：
半群代数的范畴化、强nil-clean性和表示理论
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批准号：11701099
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项目类别：青年科学基金项目
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资助金额：19.0万元
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批准年份：2017
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负责人：纪影丹
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依托单位：
整群环的Bass Nil-群
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批准号：11401412
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项目类别：青年科学基金项目
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资助金额：22.0万元
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批准年份：2014
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负责人：陈虹
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依托单位：