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Wafer-level sensor structure for measurements of the ion energy distribution function and the ion angle distribution function in low-pressure plasmas

Wafer-level sensor structure for measurements of the ion energy distribution function and the ion angle distribution function in low-pressure plasmas
用于测量低压等离子体中离子能量分布函数和离子角分布函数的晶圆级传感器结构
批准号：
335529250
负责人：
Professor Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock
金额：
$0.0万
依托单位：
Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2017
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-12-31 至 2022-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/335529250?language=en
关键词：
Waferlevelsensorstructuremeasurements

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  • 批准号：
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  • 批准年份：
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  • 负责人：
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    面上项目
  • 资助金额：
    60.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    王建锋
  • 依托单位：
    湖南大学