Fabrication of inorganic resists for pulsed EUV light source

用于脉冲 EUV 光源的无机光刻胶的制造

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数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

Yoshimura Kimio其他文献

Electron holography studies on the grain boundary magnetism in Ga-doped Nd-Fe-B permanent magnet
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  • 通讯作者：
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  • DOI：
  • 发表时间：
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  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Yamamoto Hiroki;Hosaka Yuji;Yoshimura Kimio;Ishino Masahiko;Thanh-Hung Dinh;Nishikino Masaharu;Maekawa Yasunari
  • 通讯作者：
    Maekawa Yasunari
地形地質から見た北海道胆振東部地震に伴う斜面崩壊イベント
从地形和地质角度看与北海道胆振东部地震相关的斜坡失稳事件
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    0
  • 作者：
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  • 通讯作者：
    古市剛久・柳井清治・早川智也・小山内信智・奥野充・鳥井真之・檜垣大助・林真一郎・水垣滋
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质子传导材料的开发及其在下一代中温燃料电池中的应用（特邀报告）
  • DOI：
  • 发表时间：
    2022
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    0
  • 作者：
    Zhao Yue;Yoshimura Kimio;Mahmoud Ahmed Mohamed Ahmed;Yu Hwan-Chul;Okushima Shun;Hiroki Akihiro;Kishiyama Yoshihiro;Shishitani Hideyuki;Yamaguchi Susumu;Tanaka Hirohisa;Noda Yohei;Koizumi Satoshi;Radulescu Aurel;Maekawa Yasunari;A. Matsuda
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情感科学
  • DOI：
  • 发表时间：
    2007
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Ohyama Tetsuji;Yoshimura Kimio;Yanagawa Takashi;藤田和生(編著)
  • 通讯作者：
    藤田和生(編著)

Yoshimura Kimio的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
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{{ showInfoDetail.title }}

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