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Fabrication of inorganic resists for pulsed EUV light source
用于脉冲 EUV 光源的无机光刻胶的制造
基本信息
- 批准号：19K05663
- 负责人：
- 金额：$ 2.41万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2019
- 资助国家：日本
- 起止时间：2019-04-01 至 2022-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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- 发表时间：
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- 影响因子：0
- 作者：
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- 发表时间：
2022 - 期刊：
- 影响因子：0
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- 影响因子：2.4
- 作者：
Park Sunre;Sado Mitsuhiro;Fujisawa Daisuke;Sato Yasuko;Takeuchi Mari;Ninomiya Akira;Takahashi Maiko;Yoshimura Kimio;Jinno Hiromitsu;Takeda Yuko - 通讯作者：
Takeda Yuko
Yoshimura Kimio的其他文献
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相似海外基金
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