Fabrication of inorganic resists for pulsed EUV light source
用于脉冲 EUV 光源的无机光刻胶的制造
基本信息
- 批准号:19K05663
- 负责人:
- 金额:$ 2.41万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2019
- 资助国家:日本
- 起止时间:2019-04-01 至 2022-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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- 影响因子:0
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- 影响因子:0
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- 发表时间:
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- 影响因子:0
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- 影响因子:2.4
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Takeda Yuko
Yoshimura Kimio的其他文献
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