Fabrication of inorganic resists for pulsed EUV light source

用于脉冲 EUV 光源的无机光刻胶的制造

基本信息

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Yoshimura Kimio其他文献

Electron holography studies on the grain boundary magnetism in Ga-doped Nd-Fe-B permanent magnet
Ga掺杂Nd-Fe-B永磁体晶界磁性的电子全息研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Zhao Yue;Yoshimura Kimio;Motegi Toshinori;Hiroki Akihiro;Radulescu Aurel;Maekawa Yasunari;Murakami Yasukazu
  • 通讯作者:
    Murakami Yasukazu
Recent Research activity for EUV Lithography at QST
QST 最近的 EUV 光刻研究活动
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yamamoto Hiroki;Hosaka Yuji;Yoshimura Kimio;Ishino Masahiko;Thanh-Hung Dinh;Nishikino Masaharu;Maekawa Yasunari
  • 通讯作者:
    Maekawa Yasunari
地形地質から見た北海道胆振東部地震に伴う斜面崩壊イベント
从地形和地质角度看与北海道胆振东部地震相关的斜坡失稳事件
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hamada Takashi;Zhao Yue;Yoshimura Kimio;Radulescu Aurel;Ohwada Kenji;Maekawa Yasunari;古市剛久・柳井清治・早川智也・小山内信智・奥野充・鳥井真之・檜垣大助・林真一郎・水垣滋
  • 通讯作者:
    古市剛久・柳井清治・早川智也・小山内信智・奥野充・鳥井真之・檜垣大助・林真一郎・水垣滋
Development of Proton Conductive Materials and Application for Next-Generation Medium Temperature Fuel Cells(Invited Talk)
质子传导材料的开发及其在下一代中温燃料电池中的应用(特邀报告)
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Zhao Yue;Yoshimura Kimio;Mahmoud Ahmed Mohamed Ahmed;Yu Hwan-Chul;Okushima Shun;Hiroki Akihiro;Kishiyama Yoshihiro;Shishitani Hideyuki;Yamaguchi Susumu;Tanaka Hirohisa;Noda Yohei;Koizumi Satoshi;Radulescu Aurel;Maekawa Yasunari;A. Matsuda
  • 通讯作者:
    A. Matsuda
Mindfulness-based cognitive therapy for Japanese breast cancer patients?a feasibility study
日本乳腺癌患者基于正念的认知疗法的可行性研究
  • DOI:
    10.1093/jjco/hyx156
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    2.4
  • 作者:
    Park Sunre;Sado Mitsuhiro;Fujisawa Daisuke;Sato Yasuko;Takeuchi Mari;Ninomiya Akira;Takahashi Maiko;Yoshimura Kimio;Jinno Hiromitsu;Takeda Yuko
  • 通讯作者:
    Takeda Yuko

Yoshimura Kimio的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

相似海外基金

汎用SEMとステンシルマスクを用いた近接転写による簡易電子線リソグラフィ法の開発
使用通用 SEM 和使用近距离传输的模板掩模开发简单的电子束光刻方法
  • 批准号:
    24H02574
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
EB・EUVリソグラフィ用シングルナノメーターレジスト材料の創成
创建用于 EB/EUV 光刻的单纳米抗蚀剂材料
  • 批准号:
    23KJ1531
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
EUVリソグラフィ×自己組織化による分子サイズに迫る超極微細加工技術の創製
使用 EUV 光刻和自组装创建接近分子尺寸的超精细加工技术
  • 批准号:
    21KK0262
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (A))
Semiconductor device foundry achieved at a nanotech platform established on an average science lab.
半导体器件代工是在普通科学实验室建立的纳米技术平台上实现的。
  • 批准号:
    22K12308
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
シリコン基板上ナノ構造誘起L10規則化強磁性体の実現と単電子スピンデバイスの創製
在硅衬底上实现纳米结构诱导的L10有序铁磁材料并创建单电子自旋器件
  • 批准号:
    21J13665
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Artificial synaptic crossbar array memristors with interneuron function
具有中间神经元功能的人工突触交叉阵列忆阻器
  • 批准号:
    21K18723
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
全印刷フレキシブル電子デバイスの実現に向けたナノ材料の機能性制御
纳米材料的功能控制以实现全印刷柔性电子器件
  • 批准号:
    21J13108
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
フォトレジスト薄膜中における化学組成分布がパターン線幅粗さに与える影響の解明
阐明光刻胶薄膜中化学成分分布对图案线宽粗糙度的影响
  • 批准号:
    21K14212
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Study on the origin of nanowire growth utilizing on-terrace graphoepitaxy method
利用平台图形外延法研究纳米线生长的起源
  • 批准号:
    21K04144
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
ナノ結晶とメタマテリアル共振器を組み合わせた革新的な極小単一光子放出器の創生
创建结合纳米晶体和超材料谐振器的创新超小型单光子发射器
  • 批准号:
    21K18197
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了