Selective growth of ultra-long grain in metal thin film for microelectronic application

微电子应用金属薄膜中超长晶粒的选择性生长

基本信息

  • 批准号：
    18K14139
  • 负责人：
    Pham Hoang Anh
  • 金额：
    $ 1.75万
  • 依托单位：
    Shimane University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 财政年份：
    2018
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2018-04-01 至 2022-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（12）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Rapid annealing of metal thin films by micron chevron-shaped laser beam scanning
微米人字形激光束扫描金属薄膜快速退火
  • DOI：
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    A.H. Pham;N. Fukunaga;W. Yeh;S. Morito;T. Ohba
  • 通讯作者：
    T. Ohba
Orientation selection of single-grain crystal grown in Au thin films by micron chevron-shaped laser beam scanning
微米人字形激光束扫描在金薄膜中生长单晶晶体的取向选择
  • DOI：
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Nishio Kazunori;Horiba Koji;Nakamura Naoto;Kitamura Miho;Kumigashira Hiroshi;Shimizu Ryota;Hitosugi Taro;Pham Hoang Anh
  • 通讯作者：
    Pham Hoang Anh
Growth of single-grain crystal in Au thin films by using micron chevron-shaped laser beam scanning
利用微米人字形激光束扫描在金薄膜中生长单晶晶体
  • DOI：
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    今村岳;吉川元起;鷲尾隆;Pham Hoang Anh
  • 通讯作者：
    Pham Hoang Anh
Rapid annealing of Au thin films by micron chevron-shaped laser beam scanning toward growth of single-grain crystal
通过微米 V 形激光束扫描金薄膜快速退火以生长单晶晶体
  • DOI：
    10.35848/1347-4065/abdf22
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
    Japanese Journal of Applied Physics
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    Pham Anh Hoang;Fukunaga Naruki;Yeh Wenchang;Morito Shigekazu;Ohba Takuya
  • 通讯作者：
    Ohba Takuya
Growth of single-grain crystal on SiO2 sandwiched Au films by micron chev-ron-shaped laser beam scanning
微米人字形激光束扫描在 SiO2 夹金薄膜上生长单晶晶体
  • DOI：
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Harumoto Takashi;Shi Ji;Nakamura Yoshio;今村 岳 南 皓輔 柴 弘太 小幡誠司 吉川 元起 斉木幸一朗;Pham Hoang Anh
  • 通讯作者：
    Pham Hoang Anh
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