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A new method for precision displacement measurement based on the heat-flow detection by a micro thermal sensor combined with grating pattern structures

A new method for precision displacement measurement based on the heat-flow detection by a micro thermal sensor combined with grating pattern structures
微热传感器结合光栅结构热流检测精密位移测量新方法
批准号：
18K18798
负责人：
Shimizu Yuki
金额：
$3.99万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-06-29 至 2020-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18K18798/
关键词：
熱収支場エンコーダマイクロパターン

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发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
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发表时间： 2018
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  • 批准号：
    20K17750
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 资助金额：
    $2.16万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Shimizu Yuki
  • 依托单位：
    Yamaguchi University
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  • 批准号：
    20K04002
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.5万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Shimizu Yuki
  • 依托单位：
    Kanagawa University
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