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Defect detection for next-generation smoothly finished substrates based on a heat balance generated at a tiny gap

基于微小间隙产生的热平衡对下一代光滑加工基材进行缺陷检测

基本信息

批准号：
15H03907
负责人：
Shimizu Yuki
金额：
$ 10.65万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H03907/
关键词：
欠陥検出精密計測計測工学トライボロジー

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Micro thermal sensor for nanometric surface defect inspection

用于纳米表面缺陷检测的微型热传感器

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
Proceedings of the 16th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE NANO 2016)
影响因子：
0
作者：
Yuki Shimizu;Yuki Matsuno;Yuta Ohba;Yuan-Liu Chen;Wei Gao
通讯作者：
Wei Gao

微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -10 nm級サイズ欠陥との接触検知シミュレーション実験-

微空间热平衡光滑表面缺陷检测研究-10 nm尺寸缺陷接触检测模拟实验-

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
Tsubota;K.;Kodama;Y. and Kanai;R.;市川靖，大島伸行，田渕雄一郎;Naoya Ochiai and Jun Ishimoto;N. Oshima1 and L. Wang;松野優紀，大場優太，清水裕樹，高偉
通讯作者：
松野優紀，大場優太，清水裕樹，高偉

微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価-

微空间热平衡光滑表面缺陷检测研究-热检测传感器探头的构造与基本特性评估-

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Ryu Egashira;Toshihide Fujikawa;Hisao Yaguchi;Shigeo Fujikawa;清水　裕樹，松野　優紀，陳　遠流，松隈　啓，高　偉
通讯作者：
清水　裕樹，松野　優紀，陳　遠流，松隈　啓，高　偉

高・清水研究室／精密ナノシステム研究センター

高和清水实验室/精密纳米系统研究中心

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

Characterization of a micro thermal sensor for surface defect inspection

用于表面缺陷检测的微型热传感器的表征

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
Proceedings of the 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2016)
影响因子：
0
作者：
Yuki Shimizu;Yuki Matsuno;Yuta Ohba;Yuan-Liu Chen;Wei Gao
通讯作者：
Wei Gao

DOI：
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作者：
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DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
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通讯作者：
黒川浩規・山本衛

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DOI：
发表时间：
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期刊：
影响因子：
0
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通讯作者：
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DOI：
发表时间：
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期刊：
産業動物臨床医学雑誌
影响因子：
0
作者：
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通讯作者：
菊　佳男