Defect detection for next-generation smoothly finished substrates based on a heat balance generated at a tiny gap

基于微小间隙产生的热平衡对下一代光滑加工基材进行缺陷检测

基本信息

批准号：
15H03907
负责人：
Shimizu Yuki
金额：
$ 10.65万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H03907/
关键词：
欠陥検出精密計測計測工学トライボロジー

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価-

微空间热平衡光滑表面缺陷检测研究-热检测传感器探头的构造与基本特性评估-

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Ryu Egashira;Toshihide Fujikawa;Hisao Yaguchi;Shigeo Fujikawa;清水　裕樹，松野　優紀，陳　遠流，松隈　啓，高　偉
通讯作者：
清水　裕樹，松野　優紀，陳　遠流，松隈　啓，高　偉

微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -10 nm級サイズ欠陥との接触検知シミュレーション実験-

微空间热平衡光滑表面缺陷检测研究-10 nm尺寸缺陷接触检测模拟实验-

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
Tsubota;K.;Kodama;Y. and Kanai;R.;市川靖，大島伸行，田渕雄一郎;Naoya Ochiai and Jun Ishimoto;N. Oshima1 and L. Wang;松野優紀，大場優太，清水裕樹，高偉
通讯作者：
松野優紀，大場優太，清水裕樹，高偉

Characterization of a micro thermal sensor for surface defect inspection

用于表面缺陷检测的微型热传感器的表征

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
Proceedings of the 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2016)
影响因子：
0
作者：
Yuki Shimizu;Yuki Matsuno;Yuta Ohba;Yuan-Liu Chen;Wei Gao
通讯作者：
Wei Gao

高・清水研究室／精密ナノシステム研究センター

高和清水实验室/精密纳米系统研究中心

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

Design and Testing of a Micro Thermal Sensor for Non-Contact Surface Defect Detection

DOI：
10.20965/ijat.2017.p0781
发表时间：
2017-01-01
期刊：
Int. J. Autom. Technol
影响因子：
0
作者：
Shimizu, Y.;Matsuno, Y.;Gao, W.
通讯作者：
Gao, W.

DOI：
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作者：
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DOI：
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0
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通讯作者：
菊　佳男

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DOI：
发表时间：
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期刊：
影响因子：
0
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通讯作者：
桂華邦裕

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DOI：
发表时间：
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0
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通讯作者：
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通讯作者：
山下　勝行，亀井　隆博，岸本　圭祐，森　雅彦，岸本　悠河，大井　あや，大西　彩月，栗原　洋子，三宅涼太，山野　良介，千葉　仁，中野　孝教，申　基澈