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Defect detection for next-generation smoothly finished substrates based on a heat balance generated at a tiny gap

Defect detection for next-generation smoothly finished substrates based on a heat balance generated at a tiny gap
基于微小间隙产生的热平衡对下一代光滑加工基材进行缺陷检测
批准号：
15H03907
负责人：
Shimizu Yuki
金额：
$10.65万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H03907/
关键词：
欠陥検出精密計測計測工学トライボロジー

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Micro thermal sensor for nanometric surface defect inspection
用于纳米表面缺陷检测的微型热传感器
DOI： --
发表时间： 2016
期刊： Proceedings of the 16th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE NANO 2016)
影响因子： --
作者： [Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuta Ohba, Yuan-Liu Chen, Wei Gao]
通讯作者： Wei Gao
微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価-
微空间热平衡光滑表面缺陷检测研究-热检测传感器探头的构造与基本特性评估-
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [Ryu Egashira, Toshihide Fujikawa, Hisao Yaguchi, Shigeo Fujikawa, 清水　裕樹，松野　優紀，陳　遠流，松隈　啓，高　偉]
通讯作者： 清水　裕樹，松野　優紀，陳　遠流，松隈　啓，高　偉
微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -10 nm級サイズ欠陥との接触検知シミュレーション実験-
微空间热平衡光滑表面缺陷检测研究-10 nm尺寸缺陷接触检测模拟实验-
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Tsubota, K., Kodama, Y. and Kanai, R., 市川靖，大島伸行，田渕雄一郎, Naoya Ochiai and Jun Ishimoto, N. Oshima1 and L. Wang, 松野優紀，大場優太，清水裕樹，高偉]
通讯作者： 松野優紀，大場優太，清水裕樹，高偉
Characterization of a micro thermal sensor for surface defect inspection
用于表面缺陷检测的微型热传感器的表征
DOI： --
发表时间： 2016
期刊： Proceedings of the 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2016)
影响因子： --
作者： [Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuta Ohba, Yuan-Liu Chen, Wei Gao]
通讯作者： Wei Gao
共 14 条
    Challenges in Non-Contact and Non-Destructive Surface Evaluation Using a Focused Femtosecond Laser Thermal Sensing Probe
    Establishment of lung regeneration therapy based on reactivation of the regenerative potential of the adult lung
    • 批准号：
      20K17750
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
    • 资助金额：
      $2.16万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Shimizu Yuki
    • 依托单位：
      Yamaguchi University
    Search for cosmic-ray heavy antiparticles with Antarctica balloon
    • 批准号：
      20K04002
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Shimizu Yuki
    • 依托单位：
      Kanagawa University
    Analysis of Molecular Mechanisms Regulating the Regenerative Capacity of the Adult Vertebrate Brain
    海外基金